硅锭生长速率对少子寿命的影响.docxVIP

Directional solidi?cation of polycrystalline silicon ingots by successive relaxation of supercooling method SRS法多晶硅定向凝固 摘要 定向凝固多晶硅锭，通过传统的移动加热的方法和新提出的一种叫做SRS的方法。该硅锭通过测量少子寿命、腐蚀点的密度（每单位半导体表面所产生的腐蚀点的数目。用化学腐蚀溶液在半导体材料的表面上腐蚀成坑。这些腐蚀点是可数的。它们表明材料表面上的缺陷，因此坑的密度是衡量晶体质量的一种方法。）、替代碳浓度进行评估。通过传统的方法定向凝固的硅锭上有很多(0.1mm)小颗粒，但是通过SRS方法铸锭出来的硅锭的小颗粒的数量就非常少。通过SRS铸锭的硅锭，平均寿命比传统方法制造出来的提高了3—5倍。同时，和传统硅锭相比，SRS硅锭在腐蚀点密度和替代碳浓度上也有所提高。 1. 介绍 光伏市场正在持续增长，在2005年大概制造了1.8兆瓦光伏组件。大部分光伏组件包括晶体硅太阳能电池，大约有三分之二的太阳能电池是用多晶硅基板做的，因为多晶基板的生产成本比单晶低。然而，多晶硅基的太阳能电池在能量转换率比单晶硅基的太能电池相对低一些。因此，通过提高多晶硅基板的质量来提高其转换效率还是有一定空间的。另一方面，提高多晶硅锭的增长率和使用劣质的硅原料是需要进一步降低成本。他们可