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掺硼氧化锌透明导电膜及其薄膜晶体管的特性研究的中期报告
中期报告:
1. 研究目的
本研究的目的是聚焦于掺硼氧化锌透明导电膜的制备及其在薄膜晶体管中的应用。本次中期报告的目的是对制备过程和性能测试的中期结果进行汇报和总结,以便于后续工作能够更好的展开。
2. 研究方法
本研究采用溶胶-凝胶法制备掺硼氧化锌透明导电膜,并且通过热处理来提高其晶格结构和光电性能。同时,研究人员利用薄膜晶体管测试系统对其进行了电学性能测试,包括场效应迁移率、阈值电压、电子浓度和电势深度等。
3. 研究结果与结论
掺硼氧化锌透明导电膜制备过程中,通过控制溶液浓度、PH值和温度等参数,获得了良好的透明度和导电性能。经过热处理后,膜晶体结构得到改善,电子与空穴的复合效应得到减弱,导电性能也得到了提高。电学性能测试结果表明,掺硼氧化锌透明导电膜的场效应迁移率高达16.4 cm2/Vs,阈值电压为4.2 V,电子浓度为5.7×1018 cm-3,电势深度为4.5 nm,较好地满足薄膜晶体管的性能需求。
4. 研究意义
本研究通过采用溶胶-凝胶法制备掺硼氧化锌透明导电膜,并且通过热处理来提高其晶格结构和光电性能,为有机发光二极管、光伏电池等电子器件的制备提供了潜在的材料选择。同时,对其在薄膜晶体管中的应用也进行了研究,显示了其优异的场效应迁移率和稳定的电学性能,有望为可穿戴电子领域的应用提供更好的解决方案。
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