原创力文档- 2
- 0
- 约7.42千字
- 约 8页
- 2023-09-11 发布于四川
- 举报
本实用新型公开了一种基于孔径仪的晶圆测量装置，包括孔径仪和晶圆自动定位机构，所述晶圆自动定位机构用于将晶圆定位输送至孔径仪的测量点；所述晶圆自动定位机构包括水平的X向电缸；X向电缸包括沿X向直线往复动作的X向动作件；水平的Y向电缸；Y向电缸固定在X向动作件上；Y向电缸包括沿Y向直线往复动作的Y向动作件；Z向升降底座；Z向升降底座固定在Y向直线往复动作件上端；Z向升降底座可沿Z向直线升降；Z向升降底座上固定有水平的定位板；定位板上方放置有载片台；定位板上设置有多个螺纹通孔；每个螺纹通孔由下端旋入一
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210375076 U
(45)授权公告日
2020.04.21
(21)申请号 20192
文档评论（0）