电子行业废水研究汇总.docx

注：电子行业包含很多行业，半导体行业、电子元件行业（其中包括电容器、电阻器、电 、平板显示器行业感器、电位器、电咖半导体行业废力敏研究） （其中包括皿皿和 、平板显示器行业 一、 废水来源 在制备品圆时，需要使用超纯水冲洗，无机药剂需要用到盐酸、氨水、硫酸和氢氟酸，有 机 药剂需要用到光阻剂：乙酸丙二醇单甲基醚酯PGMEA（C6H1203）和乳酸乙酯EL （C5H1003）；显影剂：氢氧化四甲基铵TMAH （。/小。）；去光阻剂：一甲基-2-比喀 NMP（C5H9NO）；光阻制程用药：酚（C6H60）;晶片干燥过程用药：异丙醇IPA （C3H8O ）。在使用药剂的过 程中就会产生废水。 二、