一种气浮板高度微调装置.pdfVIP

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2023-09-13 发布于四川
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一种气浮板高度微调装置.pdf

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本公开提供一种气浮板高度微调装置，属于面板检测技术领域。该微调装置包括：支撑架微调装置、气浮板支撑架、气浮板、气浮板微调装置和气浮板气管接头，四个支撑架微调装置两两设置在气浮板支撑架前后两侧，若干气浮板微调装置均匀设置在气浮板支撑架上，每个气浮板设置在若干个气浮板微调装置上，气浮板气管接头安装在气浮板底侧。该微调装置能够简单方便的微调气浮板的整体平面度，方便对面板进行检测，且充分利用气浮板加工件本身的平面度，不使其在调节过程中发生受力变形，降低气浮板被损坏的情况发生。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116730013 A (43)申请公布日 2023.09.12 (21)申请号 202310533246.4 (22)申请日 2023.05.11 (71)申请人江苏宏芯亿泰智能装备有限公司地址