1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种磁控溅射镀金属电极治具.pdfVIP

  • 3
  • 0
  • 约7.08千字
  • 约 8页
  • 2023-09-13 发布于四川
  • 举报

一种磁控溅射镀金属电极治具.pdf

    本实用新型公开了一种磁控溅射镀金属电极治具，包括镀膜底座，在所述镀膜底座的上表面上设置有多个凹槽，在凹槽的周围均设置有多个压紧组件，所述压紧组件包括螺钉和压条，在所述压条的一端设置有通孔，所述螺钉的杆部末端穿过通孔后与镀膜底座螺纹连接，压条的上、下表面分别与螺钉的头部以及镀膜底座的上表面接触，且压条的另一端位于凹槽的上方。本实用新型所设计的治具满足多片晶片同时镀膜，使得晶片样品可批量性地摆放于治具中进行镀膜操作，并且通过从镀膜设备上独立出来的镀膜底座进行晶片的承载，以便于生产时，能在镀膜的过程中

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210394507 U (45)授权公告日 2020.04.24 (21)申请号 20192

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >