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50微米线宽微流控芯片应用的数字光刻 摘 要 随着机械电子技术的日益发展，人们对芯片的高集成性、微型化等特征的需求渐渐提高。微流控芯片应运而生，它是一种集成度非常高的、微米尺度的、可同时处理多任务且互不干扰的一种芯片。由于它的尺寸过于微小，手工制作的困难程度极大。而数字光刻技术是一种非常精密的表层加工制作技术，通过在光刻胶上“雕刻”出与事先绘制完成的图样完全一致的几何图形，从而达到微小器件加工制作的目的，因此需要借助光刻胶、数字光刻等精密技术来实现微流控芯片的制作。本文将主要对光刻技术的发展、应用进行介绍，以及通过实验详细描述微流控芯片应用的数字光刻流程。 关键字：微流控芯片，微米尺度