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一种化学气相沉积炉气体预热装置.pdfVIP

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  • 2023-09-13 发布于四川
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一种化学气相沉积炉气体预热装置.pdf

    本实用新型公开了一种化学气相沉积炉气体预热装置，包括壳体、过滤机构、混合机构、换热管、放置盒和盖板；壳体的左右表面通过法兰连接盘安装有连接罩，连接罩上设有连接管；过滤机构与左侧的连接管连通；混合机构安装在壳体的前表面；换热管分布在壳体的内部，且与连接罩连通；放置盒通过限位机构安装在壳体前表面的放置槽中，放置盒上设有把手；本化学气相沉积炉气体预热装置，不会占用装料空间，可以加快空气的流动，能够提高对空气的预热效率，提高了生产效率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210394513 U (45)授权公告日 2020.04.24 (21)申请号 20192

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