离子注入铌酸锂晶体的损伤特性研究.docxVIP

第一章 引言 1.1 研究背景 随着电子信息技术和集成电路半导体的发展，微电子的研究也是突飞猛进，我国的信息技术产业和硬件设计等方面的研究都进入了崭新的时代。芯片其实就是一个在极有限的晶体上制作成相当成千上万晶体管的电路，也就是集成电路。光波导作为现在人们广泛讨论的一种基本的结构器件，不仅成为微电子学领域科研人员研究的一大热点话题，对于集成光学的研究发展也起着非常重要的作用。 集成光学是一种光控制组件组合成单个设备的系统。最终的目标是建立与硅芯片相似的微型光学电路，这对电子工业产生了革命性的变化。然而，光学方法的优点是可以以更高的速度处理数据。 离子注入的最广为人知的优点是能够精确地把握体材料