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- 2023-09-14 发布于四川
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本公开提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；第一电极，设置在所述基板上；压电层，设置在所述第一电极的至少一部分上；以及第二电极，设置在所述压电层的至少一部分上。在所述第一电极和所述第二电极中的一个与所述压电层之间形成有第一间隙。所述第一间隙包括第一内间隙和第一外间隙，所述第一内间隙设置在所述体声波谐振器的有效区中，并且在所述第一电极和所述第二电极中的所述一个与所述压电层之间具有第一间隔距离，所述第一外间隙设置在所述有效区的外部，并且在所述第一电极和所述第二电极中的所述一个与所述压电层
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 110166018 A
(43)申请公布日
2019.08.23
(21)申请号 20191
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