原创力文档- 4
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- 2023-09-14 发布于四川
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一种单晶生长设备，包括反应腔室(106)、上盖(110)、上开盖组件(111)、下盖(113)和下开盖组件(114)，上盖(110)和下盖(113)分别可开闭地设于反应腔室(106)的顶部和底部，分别用于密封反应腔室(106)的顶部开口和底部开口，上开盖组件(111)与上盖(110)连接，用于开闭上盖(110)，下开盖组件(114)与下盖(113)连接，用于开闭下盖(113)。本实用新型能够解决单晶生长炉单一开盖方式装卸料带来的操作空间要求大、晶体品质下降、污染环境等问题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210420254 U
(45)授权公告日
2020.04.28
(21)申请号 20192
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