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声波谐振器及其制造方法.pdfVIP

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  • 2023-09-14 发布于四川
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声波谐振器及其制造方法.pdf

    本发明提供一种声波谐振器及其制造方法，所述声波谐振器包括：基板；谐振部，包括在所述基板上顺序地堆叠有第一电极、压电层和第二电极的中央部和沿着所述中央部的外周设置的延伸部；以及第一金属层，设置在所述谐振部的外部，以电连接到所述第一电极。所述延伸部包括下插入层，所述下插入层设置在所述第一电极的上表面或所述第一电极的下表面上。所述压电层包括压电部和弯曲部，所述压电部设置在所述中央部中，所述弯曲部设置在所述延伸部中并且根据所述下插入层的形状而倾斜地从所述压电部延伸。所述下插入层利用导电材料形成，以使所述

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111327290 A (43)申请公布日 2020.06.23 (21)申请号 20191

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