压电驱动夹持装置、运动系统及衬底检测方法.pdfVIP

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2023-09-16 发布于四川
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压电驱动夹持装置、运动系统及衬底检测方法.pdf

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本发明提供一种压电驱动夹持装置、运动系统及衬底检测方法，该压电驱动夹持装置包括基座、支脚、至少一压电驱动模块组和多个夹持单元，其中，基座包括衬底放置区和驱动模块安装区；支脚位于衬底放置区用于承载衬底；压电驱动模块组位于驱动模块安装区，一个压电驱动模块组包括两个镜像设置于衬底放置区两侧的压电电机，压电电机包括定子和动子；夹持单元一一对应的安装于动子，属于同一压电驱动模块组的两个动子相向运动或反向运动时能够带动夹持单元夹持衬底或释放衬底。本发明采用压电驱动的夹持方式，通过压电电机驱动夹持单元对衬底进

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116759376 A (43)申请公布日 2023.09.15 (21)申请号 202311055148.0 (22)申请日 2023.08.22 (71)申请人上海隐冠半导体技术有限公司地址