镀膜机常见故障及分析解决预防措施2.docxVIP

镀膜机常有故障及剖析解决预 防举措2 镀膜机常有故障及剖析解决预防举措 一.常有故障,问题及解决方法 下表对一些镀膜时常有的故障、真空度问题、及掉膜和膜责问题做了一些简单剖析,并赐予解决方案及预防举措. 故障 点 1.高压 和束 流  故障现象 故障原因 解决及预防举措 备注 1.1.开枪有高压，无 1.灯丝保险烧断 1.检查灯丝保险，烧断则改换 立 即 束流 2.灯丝烧断 2.保险正常则检查灯丝改换枪 关 高 3.南光枪枪体右边引 体. 压 线遇到枪体底坐 3.调整引线与枪体底坐的间距. 在抽气前检查枪体. 1.2.开高压显示跳 1.束流控制调在手动， 1.电位器归零.在预熔完后应将 立 即 动幅度大，并有束 电位器未归零 灯丝电位器归零 关 高 流跳动 2.枪体短路 2.将连结灯丝变压器的高压引 压 3.高压电极保护罩或 线取下（注意引线不能遇到机 障蔽遇到高压引线造 器应悬空）开高压，正常则枪 成短路 体或高压电极保护罩或障蔽短 4.电柜故障 路造成 3.放气检查电极保护罩或障蔽 4.检修电柜 1.3.开枪无高压，无 1.高压保护不到位（偏 1.检查相应的高压保护 束流 转.真空.柜门） 2. 检修高压控制电路 镀膜时高压会 2.高压电路出问题 改换真空继电器 常有4 1.4. 真空继电器烧坏 1. 1. 下跌 2.高压电路出问题 2.检修高压电路 号机 1.5. 镀膜时灯丝突 1.BT138 可控硅被击 1. 改换 BT138 常有4 号机 然很亮(束流达到 穿 2. 检查枪体 满格) 枪体短路 2. 1.6有高压，有灯丝 1.栅极片短路 1.整理枪体 电流，无光斑 2.扫描出问题或扫描 2.检修扫描，正确连结扫描线 线接反了 1.7.束流上不去，达 1.灯丝地点不正或变 1.从头安装或改换灯丝.为了 不到从前的水平 形 更好的对灯丝定形及延伸灯丝 （同样功率达不到 灯丝被氧化 使用寿命,在改换新灯丝后应付 2. 从前的速率） 3.连结枪体的各接头 灯丝进行预热办理 松动 2.改换灯丝.为防备灯丝氧化在 4.坩埚转速太快 放气前应注意检查封闭灯丝电 5.材料被污染 源开关 6.晶片被挡住 3.拧紧各连结处. 4.调整坩埚转速 5.取出被污染的材料或改换新 材料 6.调整晶片挡板地点.抽气应检 1 7.电柜出问题 查晶片是否被挡 7.检修电柜 1.8.阻蒸电流调不 1.蒸发舟烧断或松掉 1.改换蒸发舟或拧紧螺钉.为了 上去 造成接触不良 防备接触不良，各电极和压块 空气开关跳闸 应冲洗洁净.改换在蒸发舟时应 2. 3.调节电流的电位器 将铜压块取下砂洁净再安装蒸 坏了 发舟 4.铜电极与真空室底 2.翻开空气开关 板下的引线接触不良 3.改换电位器 4.清洁磨平接触不良的地方并 拧紧螺钉 1.9.速率不稳定 1.晶片无效 1.选择好的晶片，1.2枪的速率 2.料面不好 要匹配 3.功率设置不合理 2.料要加平整，养成停坩埚的好 4.控制参数PID设置 习惯 不合理 3.预熔功率及最大功率设置合 5.灯丝接触不好或老 理(最大功率为略大于蒸发时 化 所需功率） 6.高压打火 4.设置合理的PID参数 5.紧固或改换灯丝 6.解决打火现象 1.10.高压打火 1.枪体污染，杂物掉入 1.整理枪体，在吹枪体时应用吸 枪体 尘器边吸使吹出的杂物吸走不 2.各接线处未拧紧 被落在枪体里 3.聚四氟套管太脏 2.拧紧各连结处，使其接触优秀 4.枪体阳极，栅极变形 3.冲洗或改换套管，应准时冲洗 5.高压电极太脏 4.调整或改换阳极，栅极片 6.障蔽不佳或未障蔽 5.改换高压电极 7.光斑地点不合理，扫 6.调整障蔽或加装障蔽 描状态不好 7.调整好光斑，检查扫描 8.2枪高压扰乱 8.蒸镀1枪时应封闭2枪高压 9.材料污染有杂物 9.将被污染的材料去除或改换 10.高压打在10KV 新材料 11.预熔不够充分 10.将高压调在正确的档位（中 功率设置不合理 档8KV）.在触摸屏上操作时(如 12. 调整坩埚转速时)应注意是否 误遇到高压调节档位 11.预熔时间及加的束流应合理 （束流最后应加到靠近镀第一 套时所需束流坩锅转一到两 圈） 12.设置合理的功率,预熔功率 不应太大,最大功率应与速率相 匹配,注意在第一套时速率较小 时功率的设置 2 2.扫描 2.1.光斑不能调整 1.扫描引线或线圈短 1.检查引线及线圈,引线间不能 和光 路 碰在一同,抽气前应检查引线是 斑 2.整流桥击穿 否互相触碰和松动 3.引线或线圈断路 2.改换整流桥 4.遥控盒上的连线松 3.检查引线及线圈 脱或电位器坏了 4.接好连线或改换电位器 2.2光斑及扫描状 1.灯丝变形 1.改换灯丝 态不好 2.极靴地点不正 2.调整极靴地点.在拆下冲洗时 3