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- 2023-09-16 发布于四川
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本实用新型公开一种基于压电系统的流体蠕动泵,包括底座、液体控制阀和压电系统,压电系统由密封导电片、第一压电陶瓷片、第二压电陶瓷片、第三压电陶瓷片组成,底座、液体控制阀、密封导电片从下往上依次设置,液体控制阀内形成有依次连通的进液腔、第一密封腔、第二密封腔、第三密封腔和出液腔,底座的底部设有连通进液腔的进液孔及连通出液腔的出液孔,密封导电片上对应第一密封腔的位置设置有第一压电陶瓷片,密封导电片上对应第二密封腔的位置设置有第二压电陶瓷片,密封导电片上对应第三密封腔的位置设置有第三压电陶瓷片。本实用新
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219691733 U
(45)授权公告日 2023.09.15
(21)申请号 202321199419.5
(22)申请日 2023.05.17
(73)专利权人 东莞市西喆电子有限公司
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