基于二元布气的大气压等离子体沉积TiO2功能层提高陶瓷表面绝缘性能.pdfVIP

2022 年 7 月 电 工 技 术 学 报 Vol.37 No. 13 第 37 卷第 13 期 TRANSACTIONS OF CHINA ELECTROTECHNICAL SOCIETY Jul. 2022 DOI:10.19595/j.cnki.1000-6753.tces.210609 基于二元布气的大气压等离子体沉积 TiO2 功能层提高陶瓷表面绝缘性能 1,2 2,3 2 2,3 1 2,3 赵鸣鸣 于维鑫 孔 飞 章 程 程 显 邵 涛 （1. 郑州大学电气工程学院 郑州 450052 2. 中国科学院电工研究所等离子体科学和能源转化北京市国际科技合作基地 北京 100190 3. 中国科学院大学 北京 100049 ） 摘要 真空/ 固体介质界面的绝缘性能相对较低，真空沿面闪络现象时有发生，严重威胁高压 电气设备、脉冲功率系统的安全可靠运行。为提高陶瓷材料在真空中的表面绝缘性能，该文采用 大气压等离子体沉积技术，以钛酸四乙酯与乙醇的混合溶液为前驱物，利用二元布气的反应器在 陶瓷表面沉积二氧化钛（TiO2 ）薄膜。通过调控沉积条件，得到均匀致密的TiO2 功能层，并对沉 积改性前后材料表面的理化特性、表面电荷特性、电荷陷阱分布以及在真空中的沿面闪络特性进 行测量和表征。实验结果表明：当基底温度为25 ℃时，大气压等离子体沉积处理在陶瓷表面引入 TiO2 功能层后，样品表面陷阱能级最低，电荷消散速度最快，与未处理样品相比，闪络电压提高 39% ；当基底温度升高至80℃时，TiO2 功能层致密均匀，样品表面陷阱能级最高，电荷陷阱逐渐 变为深陷阱，闪络电压提高 58% 。通过大气压等离子体改性技术在绝缘材料表面沉积 TiO2 功能 层，能够有效提高陶瓷的表面绝缘性能，为后续工程应用提供新的改性途径。 关键词：大气压等离子体 沉积氧化铝 陶瓷TiO2 表面电荷 闪络电压 中图分类号：TM215 Improvement of Surface Insulating Properties of Ceramics by Deposition of TiO2 Functional Layer by Atmospheric Pressure Plasma with Binary Gas Distribution Zhao Mingming 1,2 Yu Weixin2,3 Kong Fei2 Zhang Cheng2,3 Cheng Xian 1 Shao Tao2,3 （1.School of Electrical Engineering Zhengzhou University Zhengzhou 450052 China 2. Beijing International ST Cooperation Base for Plasma Science and Energy Conversion Institute of Electrical Engineering Chinese Academy of Sciences Beijing 100190 China 3. University of Chinese Academy of Sciences Beijing 100049 China ） Abstract The insulation performance of vacuum/solid interface is low comparatively, and vacuum fla