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FBAR滤波器.pdfVIP

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  • 2023-09-17 发布于四川
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FBAR滤波器.pdf

    本实用新型提供一种FBAR滤波器，FBAR滤波器包括：键合衬底，键合衬底一侧设置有与第一键合层键合连接的第二键合层，支撑层设置在第一键合层远离第二键合层的一侧；第一电极，第一电极设置在支撑层远离第一键合层的一侧，支撑层空腔贯穿支撑层、第二键合层且两端分别接触第一电极、键合衬底；压电薄膜，压电薄膜设置在第一电极远离支撑层一侧，电极上引结构贯穿压电薄膜与第一电极连接，顶电极设置在压电薄膜远离第一电极一侧，与电极上引结构部分连接；第一通孔，第一通孔贯穿键合衬底与支撑层空腔连接。本实用新型无需设置牺牲层

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210444236 U (45)授权公告日 2020.05.01 (21)申请号 20192

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