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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115428114 A
(43)申请公布日 2022.12.02
(21)申请号 202080099514.0 (51)Int.Cl.
H01J 3/02 (2006.01)
(22)申请日 2020.04.23
H01J 1/46 (2006.01)
(85)PCT国际申请进入国家阶段日
2022.10.08
(86)PCT国际申请的申请数据
PCT/JP2020/017560 2020.04.23
(87)PCT国际申请的公布数据
WO2021/214953 JA 2021.10.28
(71)申请人 株式会社日立高新技术
地址 日本东京都
(72)发明人 福田真大 糟谷圭吾 荒井纪明
(74)专利代理机构 北京银龙知识产权代理有限
公司 11243
专利代理师 范胜杰 曹鑫
权利要求书2页 说明书10页 附图9页
(54)发明名称
带电粒子枪以及带电粒子束系统
(57)摘要
本发明提供能够抑制引出电极中的不均匀
的温度分布的电子枪(901)以及测长SEM(900)。
电子枪(901)具备：带电粒子源(1)；引出电极
(3)，其从带电粒子源(1)引出带电粒子，并且使
带电粒子的一部分通过，遮蔽带电粒子的另一部
分；以及辅助结构(5)，其与引出电极(3)接触。测
长SEM(900)具备上述的电子枪(901)和控制电子
枪(901)的计算机系统(920)。
A
4
1
1
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4
5
1
1
N
C
CN 115428114 A 权 利 要 求 书 1/2页
1.一种带电粒子枪，其特征在于，具备：
带电粒子源；
引出电极，其从所述带电粒子源引出带电粒子，并且使所述带电粒子的一部分通过，遮
蔽所述带电粒子的另一部分；以及
传热结构，其与所述引出电极接触。
2.根据权利要求1所述的带电粒子枪，其特征在于，
所述引出电极具有使所述带电粒子的所述一部分通过的通过部，
所述传热结构具有从光轴方向观察包含所述通过部的整体的开口部。
3.根据权利要求1所述的带电粒子枪，其特征在于，
所述带电粒子枪还具备：
导电部件，其用于向所述引出电极施加电压；以及
调整机构，其调整所述引出电极与所述导电部件的位置关系，
所述调整机构在所述引出电极与所述导电部件相互接触且所述引出电极的中心轴、所
述导电部件的中心轴以及所述带电粒子源的中心轴一致的状态下，调整并固定所述引出电
极与所述导电部件的位置关系。
4.根据权利要求1所述的带电粒子枪，其特征在于，
所述引出电极或所述传热结构具备散热片。
5.根据权利要求1所述的带电粒子枪，其特征在于，
所述传热结构包含热传导率为10W/mK以上的材料。
6.根据权利要求1所述的带电粒子枪，其特征在于，
在所述传热结构中，在与所述引出电极接触的表面的至少一部分包含热传导率为10W/
mK以上的材料。
7.根据权利要求1所述的带电粒子枪，其特征在于，
在所述传热结构中，在不与所述引出电极接触的表面的至少一部分包含辐射率为0.1
以上的金属。
8.根据权利要求6所述的带电粒子枪，其特征在于，
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