电子源、电子枪以及带电粒子束装置 [发明].pdf

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115668429 A (43)申请公布日 2023.01.31 (21)申请号 202080101288.5 (74)专利代理机构 北京银龙知识产权代理有限 公司 11243 (22)申请日 2020.06.29 专利代理师 金成哲　王莉莉 (85)PCT国际申请进入国家阶段日 (51)Int.Cl. 2022.11.22 H01J 37/063 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/JP2020/025496 2020.06.29 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2022/003770 JA 2022.01.06 (71)申请人 株式会社日立高新技术 地址 日本东京都 (72)发明人 糟谷圭吾　石川修平　谷本宪史　 土肥隆　松永宗一郎　森田裕　 米须大吾　宫田健治　 权利要求书3页 说明书19页 附图14页 (54)发明名称 电子源、电子枪以及带电粒子束装置 (57)摘要 一种电子源，具备在沿着中心轴的方向上的 一侧端部具有开口部的抑制电极以及前端从开 口部突出的电子发射材料，其中，抑制电极在比 开口部靠外周方向的位置还具备后退部，该后退 部在沿着中心轴的方向上后退至比开口部远离 电子发射材料的前端的位置，后退部的至少一部 分具备配置为距开口部的中心为直径2810μm以 内等的构造。由此，实现降低了因电子发射材料 与抑制电极的轴偏离引起的装置性能的机械差 异的电子源、电子枪、以及使用了该电子枪的电 子显微镜等带电粒子束装置。 A 9 2 4 8 6 6 5 1 1 N C CN 115668429 A 权　利　要　求　书 1/3页 1.一种电子源，其特征在于，具有： 抑制电极，其在沿着中心轴的方向上的一侧端部具有开口部；以及 电子发射材料，其前端从上述开口部突出， 上述抑制电极在比上述开口部靠外周方向的位置还具备后退部，该后退部在沿着上述 中心轴的方向上后退至比上述抑制电极的上述端部远离上述电子发射材料的上述前端的 位置， 上述后退部的至少一部分配置为距上述开口部的中心为直径2810μm以内。 2.根据权利要求1所述的电子源，其特征在于， 上述抑制电极的上述端部是与上述中心轴垂直的平面。 3.根据权利要求2所述的电子源，其特征在于， 上述平面的直径为720μm以上。 4.根据权利要求1所述的电子源，其特征在于， 上述后退部具备锥部，该锥部与垂直于上述中心轴的面所成的角度具有至少两个以上 的不同的角度。 5.根据权利要求1所述的电子源，其特征在于， 上述后退部具备与上述中心轴平行的部分。 6.根据权利要求1所述的电子源，其特征在于， 上述后退部具备曲面部分，该曲面部分与垂直于上述中心轴的面所成的角度连续地变 化。 7.根据权利要求1所述的电子源，其特征在于， 上述后退部具备与垂直于上述中心轴的面形成角度θ的锥部， 上述锥部的至少一部分配置为距上述开口部的上述中心为直径L以内， 将上述直径L的单位设为μm，将上述角度θ的单位设