一种用于镀膜的冷阴极电子枪装置.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 110797242 A (43)申请公布日 2020.02.14 (21)申请号 201911065645.2 (22)申请日 2019.11.04 (71)申请人 中国航空制造技术研究院 地址 100024 北京市朝阳区八里桥北东军 庄1号 (72)发明人 许海鹰　桑兴华　 (51)Int.Cl. H01J 23/04(2006.01) H01J 23/06(2006.01) H01J 23/08(2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图4页 (54)发明名称 一种用于镀膜的冷阴极电子枪装置 (57)摘要 一种用于镀膜的冷阴极电子枪装置，包括室 外枪体组件和室内偏转线圈组件，室外枪体组件 的电子枪壳体的外部一端安装固定套环、另一端 通过法兰固定在真空室壁上，并与真空室内的室 内偏转线圈组件连接；电子枪壳体的内部一端设 有阴极组件、另一端设有阳极组件，阴极组件通 过绝缘子与固定套环连接，阴极组件包括导电套 环，水冷散热器和金属阴极，金属阴极的一端内 凹形成反球面、另一端嵌入陶瓷套筒，陶瓷套筒 中设有六硼化铼阴极，水冷散热器的内部设置环 形水冷通道。本发明可使阴极组件寿命大幅提 高，从而减少更换频率，提高镀膜质量。 A 2 4 2 7 9 7 0 1 1 N C CN 110797242 A 权　利　要　求　书 1/2页 1.一种用于镀膜的冷阴极电子枪装置，包括室外枪体组件和室内偏转线圈组件，其特 征在于，室外枪体组件的电子枪壳体的外部一端安装固定套环、另一端通过法兰固定在真 空室壁上，并与真空室内的室内偏转线圈组件连接；所述电子枪壳体的内部一端设有阴极 组件、另一端设有阳极组件，所述阴极组件通过绝缘子与固定套环连接，其中， 所述阴极组件包括与绝缘子同轴安装的导电套环，及与所述导电套环的内壁连接的水 冷散热器和金属阴极，所述金属阴极朝向所述阳极组件的一端内凹形成反球面、另一端内 凹并嵌入陶瓷套筒，所述陶瓷套筒中安装六硼化铼阴极，所述水冷散热器的内部设置密封 的环形水冷通道，所述环形水冷通道通过水冷散热器上设置的进水管和出水管与外部水冷 系统连接； 所述室内偏转线圈组件用于将从所述阳极组件输出的电子束偏转，以使电子束达到位 于所述阳极组件一侧的靶材的上表面上。 2.根据权利要求1所述的用于镀膜的冷阴极电子枪装置，其特征在于，所述水冷散热器 的一端外壁与所述绝缘子的内壁螺纹连接，另一端的外壁与所述导电套环的内壁螺纹连 接、且中部凸起部分伸入到所述陶瓷套筒中抵住所述六硼化铼阴极； 所述金属阴极的外壁与所述导电套环的内壁螺纹连接。 3.根据权利要求1所述的用于镀膜的冷阴极电子枪装置，其特征在于，所述金属阴极与 所述水冷散热器接触的表面上涂抹导热硅脂。 4.根据权利要求1所述的用于镀膜的冷阴极电子枪装置，其特征在于，所述水冷散热器 中设有高压输入连接端子，所述高压输入连接端子用于将所述阴极组件与负高压电源联 接； 所述阳极组件接地，以使与所述阴极组件之间形成加速电场。 5.根据权利要求1所述的用于镀膜的冷阴极电子枪装置，其特征在于，所述阳极组件包 括阳极主体，所述阳极主体的一端卡在所述电子枪壳体的端部、另一端延伸入所述电子枪 壳体的内部，其中， 所述阳极主体的中心轴线上设置供电子束通过的阳极孔； 所述阳极主体的内部设置环形水道，所述环形水道通过阳极主体上设置的阳极进水管 和阳极出水管与外部水冷系统连接； 所述阳极主体的外壁上设有导气管，内