一种5keV电子枪专利.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114141596 A (43)申请公布日 2022.03.04 (21)申请号 202111450435.2 (22)申请日 2021.11.30 (71)申请人 大连交通大学 地址 116028 辽宁省大连市沙河口区黄河 路794号 (72)发明人 郭方准　石晓倩　 (74)专利代理机构 大连东方专利代理有限责任 公司 21212 代理人 修睿　李洪福 (51)Int.Cl. H01J 37/06 (2006.01) H01J 37/065 (2006.01) H01J 37/075 (2006.01) H01J 37/26 (2006.01) 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 (54)发明名称 一种5keV电子枪 (57)摘要 本发明提供一种5keV电子枪。本发明包括电 子发射装置、控制极装置、聚焦装置、支撑装置和 电极，所述电子发射装置、控制极装置、聚焦装置 依次通过支撑装置相连，所述电子发射装置用于 发射电子，其包括处于负电位的灯丝以及与其相 连的灯丝支撑装置，所述控制极装置用于控制电 子的数量和速度，所述控制极装置处于负电位， 且其电位低于阴极灯丝电位，同时所述控制极装 置中心开有用于灯丝释放出的热电子通过的中 心孔，所述聚焦装置用于对形成的电子束的形状 进行约束，所述电子发射装置、控制极装置、聚焦 装置分别与灯丝电极、控制极电极、聚焦极电极 A 相连，所述聚焦装置由聚焦极和阳极构成。本发 6 明能量、束斑可调，成本较低，效果较好。 9 5 1 4 1 4 1 1 N C CN 114141596 A 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种5keV电子枪，其特征在于，包括电子发射装置、控制极装置、聚焦装置、支撑装置 和电极，所述电子发射装置、控制极装置、聚焦装置依次通过支撑装置相连，所述电子发射 装置用于发射电子，其包括处于负电位的灯丝以及与其相连的灯丝支撑装置，所述控制极 装置用于控制电子的数量和速度，所述控制极装置处于负电位，且其电位低于阴极灯丝电 位，同时所述控制极装置中心开有用于灯丝释放出的热电子通过的中心孔，所述聚焦装置 用于对形成的电子束的形状进行约束，所述电子发射装置、控制极装置、聚焦装置分别与灯 丝电极、控制极电极、聚焦极电极相连，所述聚焦装置由聚焦极和阳极构成。 2.根据权利要求1所述的5keV电子枪，其特征在于，所述灯丝支撑装置包括灯丝支架、 处于负电位的灯丝杆、灯丝连接件、灯丝陶瓷座以及灯丝座，所述灯丝固定在所述灯丝杆 上，然后绕过灯丝支架，通电发热后释放出热电子；所述灯丝杆穿过所述灯丝陶瓷座并固定 在其上，灯丝通过灯丝连接件连接线，实现与灯丝电极相连；所述灯丝陶瓷座位于控制极 内，且通过所述灯丝陶瓷座与所述灯丝座固定。 3.根据权利要求1所述的5keV电子枪，其特征在于，所述控制极装置前端通过实心陶瓷 与聚焦极绝缘隔开，其后端与弹簧相互配合，所述弹簧的底端安装在弹簧底座上。 4.根据权利要求1所述的5keV电子枪，其特征在于，所述聚焦极为负电位，通过实心陶 瓷与控制极和阳极绝缘。 5.根据权利要求1所述的5keV电子枪，其特征在于，所述支撑装置包括陶瓷棒、法兰、支 撑板、弹簧以及弹簧底座；所述支撑板固定在法兰上；所述陶瓷棒一端固定在支撑板上，另 一端与阳极相连；所述弹簧设置于灯丝座与弹簧底座之间，起支撑和缓冲作用。 2 2 CN 114141