e形多电子束蒸镀装置及电子枪电路.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111088479 A (43)申请公布日 2020.05.01 (21)申请号 201911379047.2 (22)申请日 2019.12.27 (71)申请人 云南北方奥雷德光电科技股份有限 公司 地址 650223 云南省昆明市五华区教场东 路31号 (72)发明人 鲁朝宇　邓荣斌　马兴民　张丽娟　 段尧　方江璨　 (74)专利代理机构 昆明祥和知识产权代理有限 公司 53114 代理人 和琳 (51)Int.Cl. C23C 14/30(2006.01) H01J 3/02(2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 (54)发明名称 e形多电子束蒸镀装置及电子枪电路 (57)摘要 本发明提供一种e形多电子束蒸镀装置，该 蒸镀设备包括永久磁铁N极、S极、X/Y扫描线圈、 坩埚、冷却水及电子束发射器；采用磁偏转式电 子束，使得电子束路径呈现e字型，偏转角为270 度，其中电子束发射器的由灯丝阴极、阳极、偏转 线圈等其他部件构成。从多电子束与旋转坩埚两 方面应对电子枪故障问题。e形多电子束蒸镀设 计大幅度提高了蒸镀效率和熔点，此外，为了提 高蒸镀过程薄膜沉积速率精度和稳定性，本发明 专利从热电子发射模块、高压电子加速模块和电 子束偏转模块三个方面设计了新的电子枪电路。 A 9 7 4 8 8 0 1 1 1 N C CN 111088479 A 权　利　要　求　书 1/1页 1.e形多电子束蒸镀装置，其特征在于由四周的e形电子枪和中心的水冷坩埚组成，e形 电子枪由直线型环状钨丝的阴极，阳极，聚焦极组成，其中阴极处于负电位，阳极接地为正 电位；水冷坩埚由中央大坩埚外围小坩埚组成，外围小坩埚由电机驱动旋转。 2.如权利要求1所述的e形多电子束蒸镀装置的电子枪电路，其特征在于由阴极灯丝电 子发射模块的电路，高压电子加速模块的直流电路，电子束偏转模块的扫描线圈直流励磁 电路组成； 阴极灯丝电子发射模块的电路采用交流220V电源，经调压后输入降压变压器，降压变 压器最大次级输出为20V或60V，用于加热阴极直线型环状钨丝； 高压电子加速模块采用交流380V供电，经三相调压升压和三相整流后输出直流高压， 高压电子加速直流电源则采用继电器过流保护，当电流超过额定值时，继电器动作切断高 压电源输入的电压； 电子束偏转模块扫描线圈直流励磁电路，经过调压、降压变压、桥式整流、稳压电源供 给励磁线圈；采用了过压保护和稳压保护，过压保护采用可控硅短路电源的方式保护电路 安全。 3.如权利要求2所述的e形多电子束装置的电路，其特征在于，220V交流电源（101），坩 埚（102），阴极灯丝（103）,构成阴极灯丝电子发射模块的电路；380V三相交流电源（201），二 极管（202），电阻（203），继电器（204），构成高压电子加速模块的直流电路；220V交流电 （301），降压变压器（302），整流二极管（303），电容（304），熔断器（305），可控硅控制极 （306），发光二极管（307），三端稳压器（308），扩流三极管（309），稳压二极管（310）构成电子 束偏转模块的扫描线圈直流励磁电路。 2 2 CN 111088479 A