面向空间制造用的电子束枪小型化引出结构.pdfVIP

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115295376 A (43)申请公布日 2022.11.04 (21)申请号 202210999141.3 (22)申请日 2022.08.19 (71)申请人 中国科学院空间应用工程与技术中 心 地址 100094 北京市海淀区邓庄南路9号 (72)发明人 李亮　刘亦飞　王功　刘兵山　 (74)专利代理机构 北京市盛峰律师事务所 11337 专利代理师 席小东 (51)Int.Cl. H01J 3/02 (2006.01) H01J 3/18 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图7页 (54)发明名称 面向空间制造用的电子束枪小型化引出结 构 (57)摘要 本发明提供一种面向空间制造用的电子束 枪小型化引出结构，包括：ECR等离子体源、电子 束引出模块和电子光学模块；按自上向下方向， 依次同轴设置ECR等离子体源、电子束引出模块 和电子光学模块；ECR等离子体源，用于产生等离 子体；电子束引出模块，用于从等离子体中引出 电子，形成电子束，并对电子束实现加速和聚束； 电子光学模块，用于调节控制电子束引出模块输 出的电子束的束斑大小和位置。本发明提供一种 面向空间制造用的电子束枪小型化引出结构，通 过电极的调控稳定的引出电子以及配合电子光 A 学模块，最终聚束成满足加工要求的束斑，本发 6 明可以获得稳定的电子束流和高精度的电子束 7 3 5 斑，最终满足在轨制造的需求。 9 2 5 1 1 N C CN 115295376 A 权　利　要　求　书 1/2页 1.一种面向空间制造用的电子束枪小型化引出结构，其特征在于，包括：ECR等离子体 源(1)、电子束引出模块(2)和电子光学模块(3)； 按自上向下方向，依次同轴设置所述ECR等离子体源(1)、所述电子束引出模块(2)和所 述电子光学模块(3)； 所述ECR等离子体源(1)，用于产生等离子体； 所述电子束引出模块(2)，用于从所述等离子体中引出电子，形成电子束，并对所述电 子束实现加速和聚束； 所述电子光学模块(3)，用于调节控制所述电子束引出模块(2)输出的电子束的束斑大 小和位置。 2.根据权利要求1所述的面向空间制造用的电子束枪小型化引出结构，其特征在于，所 述电子束引出模块(2)，包括依次同轴设置的高压电极(21)、第二电极(22)和地电极(23)； 其中： 所述高压电极(21)，加载电压为负高压； 所述第二电极(22)，加载电压为负高压，所加载电压的绝对值，位于所述高压电极(21) 加载电压的绝对值和地电极(23)之间，相比于所述高压电极(21)加载的负高压，所述第二 电极(22)处于正电位； 所述地电极(23)的电位为大地，相比于所述高压电极(21)和所述第二电极(22)加载的 负高压，所述地电极(23)处于正电位； 因此，所述高压电极(21)和所述第二电极(22)之间，形成第一电场，电场方向由第二电 极(22)指向高压电极(21)，电场结构为近锥形； 所述地电极(23)和所述第二电极(22)之间形成第二电场，电场方向由地电极(23)指向 第二电极(22)，电场结构为近锥形； 所述高压电极(21)的中心开设与所述ECR等离子体源(1)连通的引出孔(21A)；所述第 二电极(22)的中心开设第二电极通过孔(22A)；所述地电极(23)的中心开设地电极通过孔 (23A)；所述引出孔(21A)、所述第二电极通过孔(22A)和所述地电极通过孔(23A)同轴设置； 所述ECR等离子体源(1)产生的电子和离子向下运动到