一种用于电子枪安装位置准直性校准的测量工装.pdf

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218916251 U (45)授权公告日 2023.04.25 (21)申请号 202223300614.0 (22)申请日 2022.12.09 (73)专利权人 核工业理化工程研究院 地址 300180 天津市河东区津塘路168号 (72)发明人 郭志伟　贾子朝　高学林　许文强　 成成　张黛芳　 (74)专利代理机构 天津市宗欣专利商标代理有 限公司 12103 专利代理师 马倩 (51)Int.Cl. G01B 11/27 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图4页 (54)实用新型名称 一种用于电子枪安装位置准直性校准的测 量工装 (57)摘要 本实用新型公开了一种用于电子枪安装位 置准直性校准的测量工装，包括底座、固定于底 座上的假阴极机构和多个监测机构；所述假阴极 机构包括垂直固定于底座上的假阴极支撑座、假 阴极底座和激光发射源，假阴极底座固定于假阴 极支撑座上，激光发射源插入假阴极底座 ；所述 监测机构包括垂直固定于底座上的监测板支撑 座和固定于其上的监测板，监测板上形成激光透 射结构。本实用新型在非真空状态下即可实现直 观的校准电子枪安装位置与坩埚的相对位置的 作用，且激光传输过程不会受到磁场的影响，与 U 电子束直接校准相比 ，使用本检测工装更加准 1 确、安全，效率更高。 5 2 6 1 9 8 1 2 N C CN 218916251 U 权　利　要　求　书 1/1 页 1.一种用于电子枪安装位置准直性校准的测量工装，其特征在于：包括底座 (1)、固定 于底座(1)上的假阴极机构和多个监测机构；所述假阴极机构包括垂直固定于底座(1)上的 假阴极支撑座 (2)、假阴极底座 (3)和激光发射源 (8)，假阴极底座 (3)固定于假阴极支撑座 (2)上，激光发射源 (8)插入假阴极底座 (3)；所述监测机构包括垂直固定于底座 (1)上的监 测板支撑座(6)和固定于其上的监测板(5)，监测板(5)上形成激光透射结构。 2.根据权利要求1所述的用于电子枪安装位置准直性校准的测量工装，其特征在于：所 述假阴极底座 (3)与间隔最远的监测板支撑座 (6)之间的距离不小于电子枪安装位置与坩 埚的直线距离。 3.根据权利要求1所述的用于电子枪安装位置准直性校准的测量工装，其特征在于：所 述底座(1)为平板结构，其上形成多个支撑座定位槽(11)。 4.根据权利要求1所述的用于电子枪安装位置准直性校准的测量工装，其特征在于：所 述假阴极支撑座 (2)为板状结构，中间形成假阴极定位孔 (21)和多个围绕假阴极定位孔 (21)设置的假阴极螺纹孔(24)，假阴极支撑座 (2)底部设置多个假阴极通孔 (22)和多个假 阴极销孔(23)。 5.根据权利要求1所述的用于电子枪安装位置准直性校准的测量工装，其特征在于：所 述假阴极底座(3)由一体成型的定位柱、限位盘和固定套筒组成，定位柱的外圆周形成定位 面(32) ；限位盘沿圆周均布通孔(34)，固定套筒中间形成安装孔(33)，其筒壁上设置多个激 光笔螺纹孔(31)。 6.根据权利要求1所述的用于电子枪安装位置准直性校准的测量工装，其特征在于：所 述激光发射源(8)与假阴极底座(3)通过顶丝套装(4)固定连接。 7.根据权利要求1所述的用于电子枪安装位置准直性校准的测量工装，其特征在于：所 述激光发射源(8)为直圆柱外形，且在不加外接电源的情况下直接发射激光。 8.根据权利要求1所述的用于电子枪安装位置准直性校准的测量工装，其特征在于：所 述监测板支撑座(6)与假阴极支撑座(2)结构相同。