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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 107622932 A
(43)申请公布日
2018.01.23
(21)申请号 201710828486.1
(22)申请日 2017.09.14
(71)申请人 宁波鑫利成真空科技有限公司
地址 315000 浙江省宁波市高新区梅墟工
业区文卫路2号1幢
(72)发明人 赵文天
(51)Int.Cl.
H01J 37/147(2006.01)
权利要求书1页 说明书3页 附图1页
(54)发明名称
一种轴向电子束枪用偏转接头及其使用方
法
(57)摘要
本发明涉及一种轴向电子束枪用偏转接头,
包括偏转管,所述偏转管上端设有上法兰,下端
设有下法兰,所述上法兰外套有偏转线圈,所述
下法兰外从上到下依次套有聚焦线圈、扫描线
圈,所述下法兰内插有测温探头,使用偏转接头
后,由电子枪射出的电子束被偏转接头的偏转线
圈偏转一个角度后再进入真空炉室,从结构上避
免了炉室内各种蒸汽、飞溅物对电子枪内部的直
射。使绝大部分蒸汽和飞溅等污染物都沉积在偏
转接头内壁,从而保护了需要高洁净环境的电子
枪内部,大大提高电子枪工作稳定性。
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CN 107622932 A 权 利 要 求 书 1/1页
1.一种轴向电子束枪用偏转接头,其特征在于,包括偏转管,所述偏转管上端设有上法
兰,下端设有下法兰,所述上法兰外套有偏转线圈,所述下法兰外从上到下依次套有聚焦线
圈、扫描线圈,所述下法兰内插有测温探头。
2.根据权利要求1所述的一种轴向电子束枪用偏转接头,其特征在于,所述偏转管与上
法兰之间设有出水口,所述偏转管与下法兰之间设有进水口。
3.根据权利要求1所述的一种轴向电子束枪用偏转接头,其特征在于,所述上法兰上设
有电子枪出口法兰。
4.根据权利要求3所述的一种轴向电子束枪用偏转接头,其特征在于,所述电子枪出口
法兰余所述上法兰之间设有密封圈。
5.根据权利要求1所述的一种轴向电子束枪用偏转接头,其特征在于,所述下法兰下端
设有炉体电子枪接口。
6.一种轴向电子束枪用偏转接头使用方法,其特征在于,包括如下步骤:
首先调节需要使用偏转接头的电子枪的电子束射出方向,使其沿中心射出;
连接电子枪、偏转接头和真空炉体,随后启动真空系统,将炉体和电子枪抽到工作真空
度;
启动电子枪,调节加速电压到正常工作值,缓慢增加电子束功率到0.01 0.4kW,逐步增~
加偏转接头的偏转线圈的电流值(当使用带测温装置的偏转接头时,可以测温数据变化作
为电子束是否照射到偏转接头侧壁的依据。
7.当其温度上升时,继续增大偏转线圈电流,直至其不在增大),同时密切观察炉室内
电子束,直到偏转接头出口的电子束从中心射出;
记录并固定偏转接头的偏转线圈的电流值,在使用过程中同一加速电压对应同一偏转
电流;
开始正常使用。
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CN 107622932 A 说 明 书 1/3页
一种轴向电子束枪用偏转接头及其使用方法
技术领域
[0001] 本发明涉及电子束枪技术领域,尤其涉及一种轴向电子束枪用偏转接头及其使用
方法。
背景技术
[0002] 现有用于焊接、蒸发以及熔炼用途
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