带电粒子束装置 [发明].pdfVIP

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115298794 A (43)申请公布日 2022.11.04 (21)申请号 202080098588.2 (51)Int.Cl. H01J 37/28 (2006.01) (22)申请日 2020.03.31 (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2022.09.15 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/JP2020/014739 2020.03.31 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/199235 JA 2021.10.07 (71)申请人 株式会社日立高新技术 地址 日本东京都 (72)发明人 王宇　山崎实　笹气裕子　 (74)专利代理机构 北京银龙知识产权代理有限 公司 11243 专利代理师 许静　范胜杰 权利要求书1页 说明书10页 附图8页 (54)发明名称 带电粒子束装置 (57)摘要 本发明提供一种能够在短时间内高效地求 出装置的最佳参数的带电粒子束装置。本发明的 带电粒子束装置具备：电子枪(1)，其向试样(10) 照射电子束(2)；图像处理部(901)，其根据因电 子束(2)从试样(10)产生的信号(12)得到试样 (10)的图像；数据库(604)，其针对作为光学条件 的第一参数、作为与装置性能相关的值的第二参 数以及作为关于装置结构的信息的第三参数，保 持相互的对应而存储多个解析值和测定值；以及 学习器(605)，其从数据库(604)中搜索并求出满 足第二参数的目标值的第一参数。 A 4 9 7 8 9 2 5 1 1 N C CN 115298794 A 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种带电粒子束装置，其特征在于， 所述带电粒子束装置具备： 电子枪，其向试样照射电子束； 图像处理部，其根据因所述电子束从所述试样产生的信号得到所述试样的图像； 数据库，其针对作为光学条件的第一参数、作为与装置性能相关的值的第二参数以及 作为关于装置结构的信息的第三参数，保持相互的对应而存储多个解析值和测定值；以及 学习器，其从所述数据库中搜索并求出满足所述第二参数的目标值的所述第一参数。 2.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于， 所述学习器进行如下处理： 使用所述第一参数，从所述数据库中搜索并求出所述第三参数；以及 在从所述数据库中搜索并求出的所述第三参数的条件下，从所述数据库中搜索并求出 满足所述第二参数的目标值的所述第一参数。 3.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于， 在所述带电粒子束装置使用从所述数据库中搜索并求出的所述第一参数测定出的所 述第二参数不满足所述目标值的情况下，所述学习器将该测定出的所述第二参数与该求出 的所述第一参数相互对应起来存储于所述数据库中。 4.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于， 所述数据库具备与多个所述带电粒子束装置连接的标准数据库， 所述标准数据库存储各个所述带电粒子束装置的所述学习器对各个所述带电粒子束 装置进行的解析结果。 5.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于， 所述数据库设置于所述带电粒子束装置的外部。 6.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于， 所述带电粒子束装置具备显示存储于所述数据库的所述第一参数的操作画面部。