一种小型化低能栅控冷阴极电子枪.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 110783158 A (43)申请公布日 2020.02.11 (21)申请号 201911072098.0 (22)申请日 2019.11.05 (71)申请人 合肥工业大学 地址 230009 安徽省合肥市包河区屯溪路 193号 (72)发明人 王国栋　张棋　王进伟　伊明辉　 林云龙　 (74)专利代理机构 安徽省合肥新安专利代理有 限责任公司 34101 代理人 何梅生 (51)Int.Cl. H01J 23/06(2006.01) H01J 23/04(2006.01) H01J 23/087(2006.01) 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 (54)发明名称 一种小型化低能栅控冷阴极电子枪 (57)摘要 本发明公开了一种小型化低能栅控冷阴极 电子枪，该装置包括阴极、栅极、静电聚焦电极与 固定装配各电极的结构等；装配各电极的结构 有：顶件、底座、陶瓷棒、绝缘垫片、阳极衬套、固 定隔离支架、栅极衬套、弹簧、电极法兰；静电聚 焦电极有：聚焦极、阳极、减速极；本发明利用 COMSOL带电粒子追踪模块对电子枪的结构参数 及电学参数进行优化修正，得到了电子枪中电极 间距、厚度、电压等参数的较优数值。本发明发射 出的电子束有束流强度大、束能量低、发散角小 的优点，在各种离子源中有广泛的应用前景。 A 8 5 1 3 8 7 0 1 1 N C CN 110783158 A 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种小型化低能栅控冷阴极电子枪，其特征包括有：顶件(1)；减速极(2)；阳极(3)； 聚焦极(4)；栅极(5)；阴极(6)；底座(7)；电极法兰(8)；陶瓷棒(9)；绝缘垫片(10)；阳极衬套 (11)；固定隔离支架(12)；栅极衬套(13)；弹簧(14)；电极柱(15)；电极保护罩(16)； 所述的陶瓷棒(9)通过螺纹孔固定在电极法兰(8)上，弹簧(14)套在陶瓷棒(9)上；所述 的底座(7)通过通孔与陶瓷棒(9)连接，底座(7)通过弹簧(14)支撑固定在电极法兰(8)上； 所述的各电极：阴极(6)、栅极(5)、聚焦极(4)、阳极(3)、减速极(2)通过固定各电极的结构 依次放置在底座(7)上，各电极与底座(7)通过通孔由陶瓷棒(9)固定连接；所述的阴极(6) 与栅极(5)之间用栅极衬套(13)固定隔离；所述的固定隔离支架(12)放置在底座上(7)，并 固定隔离栅极(5)与聚焦极(4)；所述的聚焦极(4)与阳极(3)之间用阳极衬套(11)固定隔 离；所述的阳极(3)与减速极(2)用绝缘垫片(10)固定隔离；所述的电子枪整体结构用顶件 (1)固定；所述的静电聚焦电极的形状、间距及施加电压用COMSOL带电粒子追踪模块进行仿 真优化，电极形状包括聚焦极(4)、阳极(3)减速极(2)的厚度和内半径，电极间距包括阴极 (6)与栅极(5)、栅极(5)与聚焦极(4)、聚焦极(4)与阳极(3)、阳极(3)与减速极(2)的间距， 电极电压包括栅极(5)、聚焦极(4)、阳极(3)与减速极(2)的电压。 2.根据权利要求1所述的小型化低能栅控冷阴极电子枪，其特征是：阴极(6)与栅极(5) 的间距为30微米，且栅极(5)与聚焦极(4)、聚焦极(4)与阳极(3)、阳极(3)与减速极(2)的间 距及各电极的厚度、内半径都为毫米级别。 3.根据权利要求1所述的小型化低能栅控冷阴极电子枪，其特征是：具有阴极(6)、栅极 (5)、聚焦极(4)、阳极(3)、减速