一种用于真空蒸镀设备电子枪的高压电源.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 216056829 U (45)授权公告日 2022.03.15 (21)申请号 202121864652.1 (22)申请日 2021.08.10 (73)专利权人 成都金雅克电气有限公司 地址 610000 四川省成都市武侯区武侯新 城管委会武青南路40号 (72)发明人 杨毅　薛照明　薛海　 (74)专利代理机构 成都聚蓉众享知识产权代理 有限公司 51291 代理人 刘艳均 (51)Int.Cl. H02M 7/04 (2006.01) H02M 1/14 (2006.01) C23C 14/24 (2006.01) 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 (54)实用新型名称 一种用于真空蒸镀设备电子枪的高压电源 (57)摘要 本实用新型公开了一种用于真空蒸镀设备 电子枪的高压电源，包括驱动电压模块、变压器 和整流桥；变压器的输出端于整流桥连接；整流 桥连接有LC滤波电路；电感L1的输出端上连接有 电流取样电阻Ri1、分压电阻RV2和分压电阻RV1； 分压电阻RV1和电容C之间设置有限流电阻RX；限 流电阻RX的输出端连接高压扼流圈L2；电感L1和 高压扼流圈L2上并联有保护电路，保护电路为串 联的电阻和二极管。本实用新型配置有两个变压 器，两个变压器单独变压后通过串联后再进行滤 波，每个变压器不会出现层间高压，也不会增加 绝缘层厚度，散热性能良好，不容易出现绝缘材 U 料的热损伤，能够增加变压器长期稳定工作的时 9 间。 2 8 6 5 0 6 1 2 N C CN 216056829 U 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种用于真空蒸镀设备电子枪的高压电源，其特征在于，包括： 驱动电压模块；驱动电压模块上具有两个变压支路； 变压器，所述变压器包括第一变压器和第二变压器； 所述第一变压器和第二变压器的初级线圈的输入端分别与一个变压支路连接；所述第 一变压器的次级线圈的输出端与第一整流桥连接；所述第二变压器的次级线圈的输出端与 第二整流桥连接；所述第一整流桥和第二整流桥串联； 所述第一整流桥和第二整流桥串联后的输出端连接有LC滤波电路；所述LC滤波电路包 括电感L1和电容C；第一整流桥和第二整流桥输出的正极性脉冲经过LC滤波电路将直流脉 冲变为平滑的正极性直流电压； 所述电感L1的输出端上连接有电流取样电阻Ri1、分压电阻RV2和分压电阻RV1；分压电 阻RV1和电容C之间设置有限流电阻RX；限流电阻RX的输出端连接高压扼流圈L2； 所述电感L1和高压扼流圈L2上并联有保护电路，所述保护电路为串联的电阻和二极 管。 2.如权利要求1所述的用于真空蒸镀设备电子枪的高压电源，其特征在于：驱动电压模 块为高频驱动脉冲模块；所述变压器为高频变压器；所述第一整流桥和第二整流桥为高频 高压整流桥。 3.如权利要求1所述的用于真空蒸镀设备电子枪的高压电源，其特征在于：所述电感L1 和电容C之间具有电流取样电路。 4.如权利要求1所述的用于真空蒸镀设备电子枪的高压电源，其特征在于：所述分压电 阻RV2和分压电阻RV1之间连接有电压取样电路。 2 2 CN 216056829 U 说　明　书 1/3页 一种用于真空蒸镀