一种电子枪束斑校对装置及校对方法.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112397363 A (43)申请公布日 2021.02.23 (21)申请号 202011044023.4 B33Y 30/00 (2015.01) (22)申请日 2020.09.28 (71)申请人 西安增材制造国家研究院有限公司 地址 710300 陕西省西安市长安区郭杜街 道上林苑七路999号 (72)发明人 王志翔　赵纪元　王红宇　凌楷　 韩莉娜　 (74)专利代理机构 西安智邦专利商标代理有限 公司 61211 代理人 郑丽红 (51)Int.Cl. H01J 37/06 (2006.01) H01J 37/147 (2006.01) H01J 37/305 (2006.01) B22F 3/105 (2006.01) 权利要求书3页 说明书8页 附图7页 (54)发明名称 一种电子枪束斑校对装置及校对方法 (57)摘要 本发明提供一种电子枪束斑校对装置及校 对方法，解决现有电子枪束斑标定成本较高，不 利于箱体密封、保持真空度的问题。该校对装置 包括粗校对组件和精校对组件；粗校对组件包括 粗校对板、粗校对底座和粗校对支撑板，粗校对 板通过粗校对支撑板设置在粗校对底座上方；粗 校对板上设置有多个粗校准孔；精校对组件包括 精校对板、绝缘支撑板、精校对底座、续流电阻和 检流表；精校对板上设置有多个精校准孔，每个 精校准孔内设置有十字钨丝；精校对板通过绝缘 支撑板设置在精校对底座上方，使得精校对板和 精校对底座之间有一定距离并相互绝缘形成电 A 容器；续流电阻的两端分别与精校对板和精校对 3 底座电连接，检流表用于检测通过续流电阻的电 6 3 7 流。 9 3 2 1 1 N C CN 112397363 A 权　利　要　求　书 1/3页 1.一种电子枪束斑校对装置，其特征在于：包括粗校对组件(2)和精校对组件(3)； 所述粗校对组件(2)包括粗校对板(23)、粗校对底座(21)和粗校对支撑板(22)，所述粗 校对板(23)通过粗校对支撑板(22)设置在粗校对底座(21)上方； 所述粗校对板(23)上设置有多个粗校准孔(231)，多个粗校准孔(231)按矩阵排列，其 排布范围大于等于电子枪(1)的扫描区域； 所述精校对组件(3)包括精校对板(34)、绝缘支撑板(32)、精校对底座(31)、续流电阻 (33)和检流表(35)；所述精校对板(34)上设置有多个精校准孔(341)，多个精校准孔(341) 按矩阵排列，其排布范围大于等于电子枪(1)的扫描区域；每个精校准孔(341)内设置有十 字钨丝(36)或精校准孔(341)的上方设置有十字钨丝(36)，用于作为校准标靶； 所述精校对板(34)和精校对底座(31)均为导电板，且精校对板(34)通过绝缘支撑板 (32)设置在精校对底座(31)上方，使得精校对板(34)和精校对底座(31)之间有一定距离并 相互绝缘形成电容器；所述续流电阻(33)的两端分别与精校对板(34)和精校对底座(31)电 连接，所述检流表(35)与续流电阻(33)连接，用于检测通过续流电阻(33)的电流。 2.根据权利要求1所述的电子枪束斑校对装置，其特征在于：所述粗校准孔(231)的直 径小于精校准孔(341)的直径。 3.根据权利要求2所述的电子枪束斑校对装置，其特征在于：所述十字钨丝(36)设置在 精校准孔(341)的上方，并通过压圈(37)压紧。 4.根据权利要求1或2或3所述的电子