一种用于电子束精密调控的多级偏压电源.pdf

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115664212 A (43)申请公布日 2023.01.31 (21)申请号 202211294940.7 H02M 1/08 (2006.01) H02M 3/156 (2006.01) (22)申请日 2022.10.21 H02M 7/02 (2006.01) (71)申请人 星航高能科技（南京）有限公司 地址 210000 江苏省南京市江宁空港经济 开发区飞天大道69号1369室（江宁开 发区） 申请人 南京晟源企业管理合伙企业（有限 合伙） (72)发明人 张伟　 (74)专利代理机构 南京睿之博知识产权代理有 限公司 32296 专利代理师 杨雷 (51)Int.Cl. H02M 3/28 (2006.01) H02M 3/335 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图3页 (54)发明名称 一种用于电子束精密调控的多级偏压电源 (57)摘要 本发明公开了一种用于电子束精密调控的 多级偏压电源，其中：束流反馈电路采集电子束 流反馈值并将其发送给单片机控制电路，单片机 控制电路根据电子束流给定值和电子束流反馈 值计算电压设定值并将其发送给偏压调节低压 电路，偏压调节低压电路连接偏压调节高压电 路，偏压调节高压电路的正输出端连接电子枪阴 极灯丝，偏压调节高压电路的负输出端连接电子 枪栅极。所述偏压调节低压电路包括偏压粗调电 源电路、偏压细调电源电路和束流封闭电源电 路。本发明大大提高了束流封闭的可靠性；可以 大大提高电子束流调节的动态响应速度；可以大 A 大提高偏压电源和电子束流的调节精度，从而实 2 现小束流和大束流输出的高精度控制。 1 2 4 6 6 5 1 1 N C CN 115664212 A 权　利　要　求　书 1/2页 1.一种用于电子束精密调控的多级偏压电源，其特征在于，包括偏压调节低压电路 (602)、偏压调节高压电路(603)、束流反馈电路(604)和单片机控制电路(105)； 束流反馈电路(604)的输出端连接单片机控制电路(105)的输入端，束流反馈电路 (604)采集电子束流反馈值，并将电子束流反馈值发送给单片机控制电路(105)； 单片机控制电路(105)的输出端连接偏压调节低压电路(602)的输入端，单片机控制电 路(105)根据电子束流给定值和电子束流反馈值计算电压设定值，并将电压设定值发送给 偏压调节低压电路(602)； 偏压调节低压电路(602)的输出端连接偏压调节高压电路(603)的输入端，偏压调节高 压电路(603)的正输出端连接电子枪阴极灯丝(113)，偏压调节高压电路(603)的负输出端 连接电子枪栅极(112)； 所述偏压调节低压电路(602)包括偏压粗调电源电路(102)、偏压细调电源电路(103) 和束流封闭电源电路(104)，所述偏压粗调电源电路(102)的输入端、偏压细调电源电路 (103)的输入端和束流封闭电源电路(104)的输入端均连接单片机控制电路(105)的输出 端，偏压粗调电源电路(102)的负输出端连接偏压细调电源电路(103)的正输出端，偏压细 调电源电路(103)的负输出端连接束流封闭电源电路(104)的正输出端，偏压粗调电源电路 (102)的正输出端和束流封闭电源电路(104)的