真空室内用电子束枪.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 211555827 U (45)授权公告日 2020.09.22 (21)申请号 202020646067.3 (22)申请日 2020.04.26 (73)专利权人 沈阳金锋特种设备有限公司 地址 110027 辽宁省沈阳市经济技术开发 区开发南二十六号路 (72)发明人 于宝海　巴伊尔 达姆皮隆　 · 刘占奇　 (74)专利代理机构 沈阳晨创科技专利代理有限 责任公司 21001 代理人 樊南星 (51)Int.Cl. H01J 37/06(2006.01) H01J 37/07(2006.01) 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 (54)实用新型名称 真空室内用电子束枪 (57)摘要 本实用新型公开了一种真空室内用电子束 枪，包括：真空腔外壳、压模、上部散热器、上部枪 体、高压输入外壳、高压输入组件、阴极组件、中 部枪体、电磁场防护屏、下部枪体、加速电极、电 子束通道、聚焦透镜上壳体、聚焦透镜下壳体、聚 焦透镜、电子束偏转系统外壳、过渡法兰、电子束 偏转线圈、下部散热器、防护屏；本实用新型使用 铝合金制造的电子束枪壳体零件极大地减轻了 电子束枪的重量及改善了向液体冷却散热器排 除热量；使用铝合金制造的、并安装在电子束枪 的上部和下部液体冷却散热器极大地改善了电 子束枪整个系统的冷却性能；安装在电子束枪的 U 下部防护屏防止电子束枪遭受来自于电子束作 7 用区的热辐射和蒸发物，工作稳定性。 2 8 5 5 5 1 1 2 N C CN 211555827 U 权　利　要　求　书 1/1页 1.真空室内用电子束枪，其特征在于，包括：真空腔外壳(1)、压模(3)、上部散热器(4)、 上部枪体(6)、高压输入外壳(8)、高压输入组件(9)、阴极组件(12)、中部枪体(16)、电磁场 防护屏(18)、下部枪体(19)、加速电极(24)、电子束通道(26)、聚焦透镜上壳体(28)、聚焦透 镜下壳体(29)、聚焦透镜(30)、电子束偏转系统外壳(31)、过渡法兰(32)、电子束偏转线圈 (34)、下部散热器(36)、防护屏(38)； 所述上部散热器(4)密封固定在上部枪体(6)上端；所述上部散热器(4)设有与上部枪 体(6)内部连通的通孔，所述真空腔外壳(1)固定在上部散热器(4)上端，所述压模(3)通过 真空腔外壳(1)与上部散热器(4)挤压封堵于上部散热器(4)的通孔；所述高压输入外壳(8) 焊接在上部枪体(6)一侧，所述高压输入组件(9)密封固定在高压输入外壳(8)内部；所述阴 极组件(12)上端外周焊接有阴极组件法兰(13)，所述上部枪体(6)与中部枪体(16)之间压 紧阴极组件法兰(13)并密封连接；所述中部枪体(16)外侧壁上焊接有铰链上部接头(20)， 所述下部枪体(19)外侧壁上焊接有铰链下部接头(22)，所述中部枪体(16)与下部枪体(19) 通过铰链上部接头(20)与铰链下部接头(22)配合销体(21)固定连接；所述电磁场防护屏 (18)通过机械配合固定在中部枪体(16)与下部枪体(19)内部；所述下部枪体(19)下端设有 空气抽出孔(23)，其中间位置为带螺纹孔的向下凸起结构，所述加速电极(24)螺纹连接在 下部枪体(19)的螺纹孔内并通过螺纹配合调节高度，所述电子束通道(26)上端与下部枪体 (19)凸起部螺纹连接；所述聚焦透镜下壳体(29)与电子束通道(26)下端螺纹连接，所述聚 焦透镜(