一种钨灯丝电子枪阴极结构及其制备方法.pdfVIP

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115410885 A (43)申请公布日 2022.11.29 (21)申请号 202110580024.9 H01J 9/04 (2006.01) (22)申请日 2021.05.26 (71)申请人 生物岛实验室 地址 510320 广东省广州市海珠区广州国 际生物岛螺旋三路6号 (72)发明人 张齐容　曹峰　叶志楠　柯雪敏　 卢志钢　姚一帆　刘纪凯　孙思嘉　 栗宽　孙飞　 (74)专利代理机构 北京智信四方知识产权代理 有限公司 11519 专利代理师 葛啟宏 (51)Int.Cl. H01J 37/063 (2006.01) H01J 37/075 (2006.01) H01J 37/28 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图4页 (54)发明名称 一种钨灯丝电子枪阴极结构及其制备方法 (57)摘要 本公开实施例公开了一种钨灯丝电子枪阴 极结构，包括：第一端臂，第二端臂，两臂端以相 同预设角度呈线性同步延伸；尖端主体，分别与 所述第一端臂和所述第二端臂相连，形成发叉形 形状，所述尖端主体经尖锐化处理后形成具有基 部和延伸部的尖端结构；其中，所述延伸部为从 所述基部向外延伸突出的具有均匀弯曲曲面的 几何体。本公开通过获得具有更小曲率半径的 “V”形尖端的发叉形钨阴极，在正常工作温度下， 电子可由更小的面积发射离开“V”形阴极尖端， 使得该阴极尖端的场强更大，避免了在正常工作 温度下容易出现的空间电荷效应；电子发射效率 A 以及电场强度均得到显著提升，有利于提高扫描 5 电镜的分辨率。 8 8 0 1 4 5 1 1 N C CN 115410885 A 权　利　要　求　书 1/2页 1.一种钨灯丝电子枪阴极结构，其特征在于，包括： 第一端臂，以第一预设角度呈线状延伸； 第二端臂，以第二预设角度呈线状延伸； 尖端主体，分别与所述第一端臂和所述第二端臂相连，形成发叉形形状，所述尖端主体 经尖锐化处理后形成具有基部和延伸部的尖端结构； 其中，所述延伸部为从所述基部向外延伸突出的具有均匀弯曲曲面的几何体。 2.根据权利要求1所述的钨灯丝电子枪阴极结构，其特征在于：其中，所述延伸部形成 在所述尖端主体的顶部中心处。 3.根据权利要求1或2所述的钨灯丝电子枪阴极结构，其特征在于：所述基部和所述延 伸部关于中心轴线对称。 4.根据权利要求1或2所述的钨灯丝电子枪阴极结构，其特征在于： 所述延伸部为具有一定曲率半径的球形结构或类球形结构。 5.根据权利要求4所述的钨灯丝电子枪阴极结构，其特征在于：所述延伸部为半球形结 构。 6.根据权利要求1所述的钨灯丝电子枪阴极结构，其特征在于：所述基部具有平缓的第 一表面，所述第一表面为具有第一圆面半径的圆形表面，其中，所述第一圆面半径的尺寸R1 小于等于0.14mm。 7.根据权利要求1或2所述的钨灯丝电子枪阴极结构，其特征在于：所述延伸部具有第 三球面半径，所述第三球面半径的尺寸R3为20um至100um。 8.根据权利要求6所述的钨灯丝电子枪阴极结构，其特征在于：所述第一表面为平面或 曲面。 9.根据权利要求1、2、5、6或8所述的钨灯丝电子枪阴极结构，其特征在于：所述第一端 臂、所述尖端主体和所述第二端臂一体成型的结构；所述发叉形形状的夹角为0°＜α≤20°。 10.根据权利要求1、2、5、6或8所述的钨