基于SECS标准的半导体封装设备串口通信实现.docVIP

基于SECS标准的半导体封装设备串口通信实现 摘要:SECS标准用来统一各个生产设备之间以及生产设备和控制设备之间的通讯。介绍了SECS标准的构成，提出了使用SECS标准接口解决半导体封装设备通信的问题，使所有设备全部都通过使用SECS标准接口连接到单元控制器及更高级别的MES和工厂计划信息系统。使设备能快速地整合在CIM的管理系统中。系统实现了基于SECS标准的串口通信，并给出了基于SECS协议的串口通信的实例。 0 引 言 在高度自动化的半导体制造厂中，CIM(Computer Integrated Manufacturing)统一管理各设备的生产流程，并随时监控设备过程的状态，以减少过程失误进而降低成本及提升产品的质量。但随着过程的不同，各设备有着不同特性的差异且各制造商所提供的设备也不尽相同，因此增加CIM自动化管理的困难与复杂程度。软件集成自动化存在的主要问题是在不同的设备供应商之间没有标准的通讯协议。设备供应商不向半导体生产商开放通讯协议及接口软件，这使得半导体生产商不得不建立他们自己的软件“连接”，导致了项目费用的巨大增加。 SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International) 制定了半导体设备通讯标准接口SECS(Semiconductor Equipment Communication Stan