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浅谈一种更快获取超材料的方法论文 【摘要】：正能够以特殊方式与光进行互动的纳米结构材料可制备一 系列新型光学器件,如纳米涂层太阳能电池、光学计算机、隐身斗篷等。 一种新的制备方法能够更加容易地设计、制造大尺寸的片状超材料。为挖 掘在利用可见光或红外线的成像和通信领域的潜在应用,研究人员利用金 属和半导体材料制备了具有致密、错综复杂的纳米图案的超材料。该类材 料的制备通常利用过程缓慢且价格昂贵的电子束光刻或离子束光刻等技术。 【关键词】：超材料;离子束光刻;纳米结构材料;电子束光刻;光学计 算机;纳米涂层;材料制备;光刻技术;光学器件;纳米球; 能够以特殊方式与光进行互动的纳米结构材料可制备一系列新型光学 器件，如纳米涂层太阳能电池、光学计算机、隐身斗篷等。一种新的制备 方法能够更加容易地设计、制造大尺寸的片状超材料。 为挖掘在利用可见光或红外线的成像和通信领域的潜在应用，研究人 员利用金属和半导体材料制备了具有致密、错综复杂的纳米图案的超材料。 该类材料的制备通常利用过程缓慢且价格昂贵的电子束光刻或离子束光刻 等技术。据哈佛大学georgem。whiteide实验室的研究员alenemiroki介 绍，光刻技术能够更快速地制备超材料，但是其分辨率较低且不能形成高 密度、有序的图案。为了加快创新的步伐，研究人员需要具备快速制备光 刻样机并测试超材料的设计的能力，企业需要拥有快速制备大尺寸材料的 工艺。 nemirok通过调整现有技术中的阴影投射光刻技术，研发出了一种更 快、更通用的超材料制备方法，利用一个简单的模板(通常由致密的纳米 球制成)来阻碍物理气相沉积(pvd)腔室中的原子沉积，他认为，在沉积过 程中多次改变原子源的位置可以创建更复杂的图案。 这种新的方法被称为阴影纳米球光刻技术。研究人员先向水中滴入直 径为1μm的聚苯乙烯微球，利用静电作用使其团聚，然后将团聚的微球 置于硅片的表面并干燥。如有需要，可对硅片上的微球进行蚀刻以获得更 小尺寸的聚苯乙烯微球。接下来，研究人员将硅片放入pvd腔室中，对所 选择的材料进行沉积。在原子沉积到硅片表面的过程中，聚苯乙烯微球阻 碍了部分原子的沉积路径。为获得特定的纳米尺度结构，可以通过改变沉 积源角度的方法，从一个阴影图案开始，重复沉积不同的图案。利用该技 术，哈佛大学的研究团队利用铜、钛和其他金属制备了一系列图案化超材 料。这些样板材料的曲率半径低至10nm。 nemiroki认为半导体材料和电解质材料均可用来制备该类超材料。 nemiroki开发设计了控制沉积过程的软件，它不仅能够自动生成沉积源 的移动序列，并根据所要求的图案限定微球的尺寸，还能够预测最终所得 材料的光学性质。 伊利诺伊大学香槟分校从事利用新型光刻技术制备超材料研究的材料 学家paulv。braun表示：“我从来没有想到，可以利用这些自组装胶体 来创建复杂的结构。”据他介绍，超材料所检测到的光学性能与哈佛大学 软件预测的一致，表明该制备方法切实可行。