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PAGE 40 微细电解电火花加工伺服控制系统设计 摘 要 微细电解电火花加工是一种以电火花加工为主、电解加工为辅的新型复合加工工艺，在电火花快速加工的同时结合了电解加工的化学溶解作用，可实现无重铸层的高效率、高精度加工。由于电解电火花加工兼备了电火花加工与电解加工的优势，该工艺广泛受到了微电子、航空航天、医学等器件制造方面的研究学者重视。微细电解电火花加工每次去除的工件材料小，其加工脉冲能量小，放电间隙比一般的电火花加工间隙要小得多，如何控制好加工间隙是实现稳定、高效加工的关键因素。因此研制出一套具有高速状态检测与伺服控制功能的