传感器与智能检测技术 课件 5.5 其他位移传感器.pptx

5.5 数字式位移传感器;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;5.5.2 大位移传感器;光 栅 传 感 器;反射式光栅;透射式光栅;透射式圆光栅;长光栅 --- 直线位移；圆光栅 --- 角位移 ; ;工作原理：（透射光栅）; 2. 光栅读数头 ;;;;5.5.2 莫尔条纹的形成原理与特点 　　1. 莫尔条纹的形成原理 　　按照光学原理，对于栅距远大于光波长的粗光栅，可以利用几何光学的遮光原理来解释莫尔条纹的形成。如图5-9所示， 当两个有相同栅距的光栅合在一起， 其栅线之间倾斜一个很小的夹角θ，于是在近乎垂直于栅线的方向上出现了明暗相间的条纹。 例如在h-h线上， 两个光栅的栅线彼此重合，从缝隙中通过光的一半， 透光面积最大，形成条纹的亮带；在g-g线上， 两光栅的栅线彼此错开， 形成条纹的暗带； 当a=b= W/2时， g-g线上是全黑的。 ;图5-9 莫尔条纹原理 （a） 莫尔条纹的形成； （b） 莫尔条纹的宽度 ;　　2. 莫尔条纹的宽度 　　横向莫尔条纹的宽度B与栅距W和倾斜角θ之间的关系， 可由图5-9（b）求出（当θ角很小时）： ;　　3. 莫尔条纹的特点 　　式（5-5）说明莫尔条纹具有以下特点： 　（1） 对位移的光学放大作用：即把极细微的栅线放大为很宽的条纹，便于测试。例如θ=10′，则　　　　， 若W=0.01 mm,则B=5.44 mm。 　（2） 连续变倍的作用： 其放大倍数可通过使θ角连续变化， 从而获得任意粗细的莫尔条纹。 ;　　（3） 对光栅刻线的误差均衡作用： 光栅的刻线误差是不可避免的。 由于莫尔条纹是由大量栅线共同组成的， 光电元件感受的光通量是其视场覆盖的所有光栅光通量的总和， 具有对光栅的刻线误差的平均效应， 从而能消除短周期的误差。 例如对50线/mm的光栅（W=0.02 mm），用5 mm×5 mm的光电池接收， 光电池视场内覆盖250条栅线。 若每条刻线误差为δ0=±0.001 mm，则平均误差　　　　　　　　　　。 ;　　4. 莫尔条纹的移动方向 　　当主光栅沿栅线垂直方向移动时， 莫尔条纹沿着夹角θ平分线（近似平行于栅线）方向移动。 莫尔条纹移动时的方向和光栅夹角的关系见表5-1。 ;表5-1 莫尔条纹和光栅移动方向与夹角转向之间的关系 ;　　5. 莫尔条纹测量位移的原理 　　光栅每移过一个栅??W，莫尔条纹就移过一个间距B。通过测量莫尔条纹移过的数目，即可得出光栅的位移量。  　　由于光栅的遮光作用， 透过光栅的光强随莫尔条纹的移动而变化， 变化规律接近于一直流信号和一交流信号的叠加。 固定在指示光栅一侧的光电转换元件的输出，可以用光栅位移量x的正弦函数表示， 如图5-10所示。只要测量波形变化的周期数N（等于莫尔条纹移动数）就可知道光栅的位移量x，其数学表达式为 ;图5-10 光电元件输出与光栅位移的关系;光干涉法测位移;光栅尺及数显表;光栅尺在机床导轨上的安装;2．光栅尺的安装与调整;三、光栅;3自由度光栅数显表;安装有直线光栅的数控机床加工实况 ; 磁 栅 传 感 器;磁栅传感器 ;磁栅的外形及结构;磁头与磁尺相对运动时的输出波形演示;图5-7 磁栅传感器示意图 ;图9－86　磁通响应型单拾磁磁头结构 (a)磁场分布；(b)磁头结构 ;磁栅在磨床测长系统中的应用;感 应 同 步 器 ;; 感应同步器结构示意图;2．感应同步器的工作原理;5.5.3 感应同步器的工作原理 　　感应同步器利用定尺和滑尺的两个平面印刷电路绕组的互感随其相对位置变化的原理， 将位移转换为电信号。 感应同步器工作时， 定尺和滑尺相互平行、 相对放置， 它们之间保持一定的气隙（0.25±0.005）mm， 定尺固定， 滑尺可动。 当滑尺的S和C绕组分别通过一定的正、 余弦电压激励时， 定尺绕组中就会有感应电势产生， 其值是定、 滑尺相对位置的函数。 ;感应同步器的优点（续） ③使用寿命长，维护简单。定尺和滑尺，定子和转子互不接触，没有摩擦、磨损，所以使用寿命很长。它不怕油污、灰尘和冲击振动的影响，不需要经常清扫。但需装设防护罩，防止铁屑进入其气隙。 ④可以作长距离位移测量。可以根据测量长度的需要，将若干根定尺拼接。拼接后总长度的精度可保持（或稍低于）单个定尺的精度。目前几米到几十米的大型机床工作台位移的直线测量，大多采用感应同步器来实现。⑤工艺性好，成本较低，便于复制和成批生产。