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一种碳化硅晶体生长炉石英管的清理方法.pdfVIP

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  • 2023-09-23 发布于四川
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一种碳化硅晶体生长炉石英管的清理方法.pdf

    本发明属于碳化硅技术领域，具体的说是一种碳化硅晶体生长炉石英管的清理方法，所述清理座的表面固定连接有夹持座，所述夹持座的数量为多个，且呈等距离连接在清理座的上表面；每个夹持座的内部均设置有石英管本体，所述清理座的后侧固定连接有气缸架，所述气缸架的下方设置有连接板，所述连接板的下表面固定连接有多个与石英管本体呈对应设置的压柱；在清理过程中刮板能够起到边向下边转动的状态对石英管本体内壁刮除清理；使石英管本体的内壁逐渐清洁；且避免了现如今需要工作人员需要手动清理的现象，同时能够自上而下对石英管本体进行

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115055452 A (43)申请公布日 2022.09.16 (21)申请号 202210617683.X C30B 29/36 (2006.01) (22)申请日 2022.06.

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