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一种核用超厚Zr/Ti/Ti35耐蚀涂层的制备方法.pdfVIP

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  • 2023-09-23 发布于四川
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一种核用超厚Zr/Ti/Ti35耐蚀涂层的制备方法.pdf

    本发明公开了一种核用超厚Zr/Ti/Ti35耐蚀涂层的制备方法，包括以下步骤：一、将核级靶材安装于镀膜机中；二、将基材喷砂、超声清洗和吹干，然后装入镀膜机中进行预处理；三、将装有预处理基材的镀膜机中抽真空后进行清洗，得到洁净基材；四、将洁净基材依次沉积Zr金属过渡层和Ti/Ti35耐蚀功能层，在洁净基材表面得到超厚Zr/Ti/Ti35耐蚀涂层。本发明采用物理气相沉积技术制备的大厚度Zr/Ti/Ti35涂层组织结构均匀致密，整体贯穿性缺陷少，可在沸腾浓强酸腐蚀介质中，对低成本不耐蚀的基体材料产生3

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