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本发明提供了一种电子级硅烷分析系统，包括气路系统、分离系统和检测系统；所述气路系统由四阀四柱双反吹气路和六阀四柱系统组成；所述四阀四柱双反吹气路用于分离Ar、CH4、CO、H2、N2和CO2；所述六阀四柱系统用于分离C2H6、SiH2Cl2，SiHCl3，SiCl4、Si2H6，C3H8和C4H10；优选的，所述四阀四柱双反吹气路由两个个十通阀和两个四通阀组成；优选的，所述四阀四柱双反吹气路由左至右依次设有V1阀、V2阀、V3阀和V4阀；所述V1阀为样品阀，V2阀和V3阀为进样阀/反吹阀，V4阀
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116794182 A
(43)申请公布日 2023.09.22
(21)申请号 202310759197.6
(22)申请日 2023.06.26
(71)申请人 北京高麦克仪器科技有限公司
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