原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种力电性能好的铁电自由基薄膜，包括如下步骤：依次在衬底上生长缓冲层、底电极层和铁电功能层，退火后，将所述衬底剥离后即得铁电自由基薄膜；其中，所述生长均采用脉冲激光沉积技术；所述衬底和所述缓冲层生长之前采用腔内气氛环境等离子体表面清洗技术进行清洗。本发明基于衬底和缓冲层表面状态以及范德华瓦尔斯力共调控的思路，通过采用具有较高柔韧性和化学稳定性、且经过了特殊预处理的云母衬底，结合优化的腔内等离子体处理技术和脉冲激光沉积技术工艺，制备出的锆钛酸铅自由基薄膜具有优异柔韧性和铁电性能。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116791041 A
(43)申请公布日 2023.09.22
(21)申请号 202310783091.X
(22)申请日 2023.06.29
(71)申请人 湖南科技大学
文档评论（0）