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用于改进的声波滤波器的取代氮化铝.pdfVIP

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  • 2023-09-27 发布于四川
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用于改进的声波滤波器的取代氮化铝.pdf

    涉及一种压电材料，包括：AlN，其掺杂有选自下组的一种或多种元素的阳离子：Sb、Ta、Nb或Ge中的一种；Cr与B、Sc、Y、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er，Tm或Yb中的一种或多种的组合；Nb和Ta中的一种与Li、Mg、Ca、Ni、Co、和Zn中的一种的组合；Ca与Si、Ge、Ti、Zr和Hf中的一种的组合；Mg与Si、Ge、和Ti中的一种的结合；以及Co、Sb、Ta、Nb、Si、或Ge中的一种或多种与Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm或Yb中的一种或多种的组合；阳离子至

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 110998886 A (43)申请公布日 2020.04.10 (21)申请号 20188

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