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- 2023-09-28 发布于上海
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基于密度泛函的SiC异质结研究的中期报告
这是一份基于密度泛函理论的SiC异质结研究的中期报告。该研究旨在通过计算模拟分析SiC异质结的电学性质,为其在半导体器件中的应用提供理论支持。
在前期的研究中,我们使用VASP软件包对三种SiC异质结(4H-SiC/3C-SiC、4H-SiC/6H-SiC和3C-SiC/6H-SiC)的晶格结构进行了优化。结果显示,三种异质结的密度均比单晶SiC高,且在晶体结构方面存在一定的差异。
随后,我们计算了三种异质结的电子结构,包括能带结构、态密度和电子密度分布。计算结果表明,4H-SiC/6H-SiC异质结与单晶SiC具有类似的电子结构,而4H-SiC/3C-SiC和3C-SiC/6H-SiC异质结的电子性质存在一些不同。
我们还对三种异质结的势垒进行了计算,结果显示,4H-SiC/6H-SiC异质结的势垒最大,4H-SiC/3C-SiC次之,3C-SiC/6H-SiC最小。这些结果为异质结在半导体器件中的应用提供了指导意义。
接下来,我们将对三种异质结进行电子输运计算,并分析其在不同温度下的输运性能。我们还将进一步研究这些异质结在器件中的应用潜力,并探索制备高质量异质结薄膜的技术路线。
总的来说,我们的研究为进一步了解SiC异质结的性质和应用提供了一定的理论基础。
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