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微机械装置和相应的制造方法.pdfVIP

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  • 2023-09-27 发布于四川
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微机械装置和相应的制造方法.pdf

    本发明实现一种微机械装置和一种相应的制造方法。微机械装置包括具有前侧(V)和后侧(R)的基础衬底(2)；罩衬底(2a)，其中，在所述基础衬底(2)的所述前侧(V)中构造具有不平整的侧壁(3a)的至少一个环绕的沟槽(3)；其中，所述基础衬底(2)的所述前侧(V)和所述沟槽(3)涂覆有至少一个金属层(4、4a)；其中，所述沟槽(3)的所述不平整的侧壁(3a)不一致地被金属(4、4a)覆盖，使得所述不平整的侧壁在垂直于所述前侧(V)走向的方向上不形成电流路径；并且，其中，在所述沟槽(3)的区域中在所述

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 110997555 A (43)申请公布日 2020.04.10 (21)申请号 201880

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