JSM-6510扫描电子显微镜操作指引.docVIP

JSM-6510扫描电子显微镜操作指引 1．目的 为使用者提供正确的设备操作使用和维护保养方法，以确保仪器的精度、稳定性，保证其测量结果的有效性，延长其使用寿命。 2.适用范围 适用于本公司使用的JSM-6510型扫描电子显微镜。 3．职责 3.1研发部分析中心有指导使用者正确操作及维护保养的职责。 3.2各计量器具使用者负责计量器具的日常检查和维护保养。 3.3质量部计量工程师负责仪器的计量校验。 4.定义 无 5.相关文件 无 6.内容要求 电镜电脑6.1仪器结构： 电镜电脑 能谱工作台电镜主机开关电镜主机电镜电脑主机 能谱电脑 打印机 能谱电脑主机 能谱 工作台 电镜主机开关 电镜主机 电镜电脑主机 能谱电脑 打印机 能谱电脑主机 真空、时间设置按钮喷金台开始按钮喷金仪开关 真空、时间设置按钮 喷金台 开始按钮 喷金仪开关 6.2 开机设置 6.2.1 打开UPS电源，再开稳压器开关（绿灯闪亮）如图1； 6.2.2 打开主机电源开关，如图2，开启计算机，打开软件； 主机电源开关稳压器开关 主机电源开关 稳压器开关 图1 图2 6.3 样品处理 6.3.1 粘贴：佩戴胶手套，选取合适样品底座，在样品底座上贴导电碳胶带，将样品贴在导电碳胶带上，按压平整，如图3，用洗耳球吹掉表面残渣，如图4； 图3 图4 6.3.2 喷金：如果所取样品导电性能差，在测试之前须进行表面喷金处理，导电性能良好的样品不需要进行此项处理。将样品放在喷金台上，盖好玻璃罩，如图5，打开电源，喷金仪进入抽真空状态，设置喷金时间30S，当真空压力小于6Pa时，如图6，点击“START”开始喷金，喷金结束后，关掉电源，放气完成可取出样品。 图5 图6 6.4 电镜测试 6.4.1 进入软件界面，点击“VENT”按钮，开始放气，此时按钮闪烁，闪烁停止放气 结束，如图7； 6.4.2 双手轻轻拉出工作台，将准备好的样品固定在工作台上，如图8，调整好“Z”轴高度，然后轻轻将工作台推入工作腔。需注意调整好探头与样品表面的距离，避免样品表面碰到仪器探头。 图7 图8 6.4.3选择样品底座：选择与底座相对应的图案，如图9； 6.4.4 点击“EVAC”，轻压工作台外壁，进入抽真空状态，至“EVAC”闪烁停止达到真空要求， 如图10； 图9 图10 6.4.5 点击“HT”点燃灯丝，开始扫描样品；扫描样品时，先用低放大倍率扫描，点击“Scanz2”，在快扫的情况下调节放大倍率。可以选择手动或者自动调焦。 a) 自动调焦：点击“AF”自动对焦，点击“ABC”自动调节对比度和亮度。 b) 手动调焦：点击“FOCUS”上下移动至清晰的画面，点击“CONTRAST”调节对比度， 再点击“BRIGHTNESS”调节亮度。 6.4.6根据测试需求和样品特性，点击“SEI”设置扫瞄方式，一般选择SEI，点击电压设置电压 大小, 点击“SS”设置数斑距离的大小。 6.4.7调节好后，如需保存，点击“Freeze”进行保存。 6.4.8 样品测试结束后，先关掉“HT”，点击“VENT”放气，取出样品。如果不再测试其它样品， 关机前先抽真空，再关机。关机顺序与开机相反，没有检测要求时，“HT”尽量关闭，以延长灯丝的使用寿命。 6.5 能谱测试： 6.5.1在电镜开机的前提下，双击能谱仪电脑桌面上，进入操作软件。 6.5.2选择测试方法，一般选择“”，点击“项目”，在项目名称下输入样品的名称，如需新建一个项目名称，而且不覆盖上一个项目，则选择左上角， 添加新项目； 6.5.3点击“样品”，在样品名称下输入样品的型号或批次； 6.5.4点击“电镜设置”，处理时间调至5，将电镜扫描仪的“WD”调至于10mm左右，点击右上角“开始采集”的绿色按钮，开始采集预览，通过调节电镜扫描仪的“SS”将输入计数率、采集速率调至3—4左右，死时间