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一种PECVD特气管路.pdfVIP

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  • 2023-09-28 发布于四川
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一种PECVD特气管路.pdf

    本实用新型为太阳电池领域，具体涉及一种PECVD特气管路，包括特气管，与其相连通的管道组件，所述特气管上均匀开设气孔；所述气孔面积相同，呈直线排列，其开孔方向面向硅片；所述管道组件包括相连通的第一管道组件、第二管道组件、第三管道组件和三通接头；所述气孔包括气孔本体和气流引导装置，所述气流引导装置位于气孔本体外侧，所述气流引导装置从上到下横截面逐渐缩小，包括第一引导装置和第二引导装置，所述第一引导装置位于第二引导装置下方，所述第二引导装置的高度为第一引导装置的一半。本实用新型所述的PECVD特气管

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210560740 U (45)授权公告日 2020.05.19 (21)申请号 20192

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