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* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * P. * 背散射电子探头 组分像、形貌像、3D像 2 日立S-3400N电镜的操作基础 P. * SE BSE TOPO BSE 3D BSE COMPO 2 日立S-3400N电镜的操作基础 P. * 3 日立S-3400N电镜的参数设定 形貌观察和元素分析时需要设定的主要电镜参数 1、物镜可动光阑孔:1号、2号、3号、4号 2、加速电压Vacc:范围0.3KV ~ 30KV 3、Probe Current:0~100 4、工作距离WD:通过调整样品台高度 P. * 3 日立S-3400N电镜的参数设定 物镜可动光阑孔对样品和图像的影响 调整物镜可动光阑孔可以 1)控制电子束的入射角 2)设定照射电流量 P. * 物镜可动光阑孔径对样品图像观察的影响 3 日立S-3400N电镜的参数设定 物镜光阑 (孔径) 孔 径 孔 径 小 大 分辨率 高 低 照射电流 少 多 束斑直径 小 大 图像信噪比 差 好 景深 深 浅 P. * 3 日立S-3400N电镜的参数设定 P. * 3 日立S-3400N电镜的参数设定 加速电压对样品图像观察的影响 加速电压 最低0.3KV 最高30KV 电子束能量 小 大 分辨率 低 高 样品损伤 轻 重 荷电现象 轻 重 样品信号源深度 浅 深 P. * 3 日立S-3400N电镜的参数设定 照射电子在样品内部的散乱 P. * 3 日立S-3400N电镜的参数设定 照射电子在样品内部的散乱 P. * 3 日立S-3400N电镜的参数设定 加速电压对样品和图像的影响 Si(微米) Cu(微米) 直径 深度 直径 深度 10KV 2.9 1.5 0.1 0.1 15KV 5.5 3 0.8 0.6 20KV 8.6 4.9 1.6 1.1 1、影响入射电子束的色差、波长等参数(分辨率) 2、对样品的轰击深度(电子束能量) P. * 3 日立S-3400N电镜的参数设定 加速电压:10KV 加速电压:15KV 加速电压:25KV 样品:集成电路板 观察倍率:×5K P. * 3 日立S-3400N电镜的参数设定 P. * 3 日立S-3400N电镜的参数设定 P. * 3 日立S-3400N电镜的参数设定 Probe Current 0 100 束斑直径 小 大 分辨率 高 低 照射电流 少 多 荷电现象 轻 重 图像信噪比 差 好 Probe current值对样品图像观察的影响 P. * 3 日立S-3400N电镜的参数设定 P. * 3 日立S-3400N电镜的参数设定 WD 短 长 分辨率 高 低 景深 浅 深 最低观察倍率 大
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