一种使陶瓷金属化方法制作的烧结治具.pdfVIP

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2023-09-30 发布于四川
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一种使陶瓷金属化方法制作的烧结治具.pdf

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本发明属于陶瓷覆铜基板技术领域，特别涉及一种使陶瓷金属化方法制作的烧结治具。本发明通过溅射工艺先在预清洗陶瓷表面形成金属铬层，切割陶瓷表面形成多条切割线；进行化学镀，制得镀铬陶瓷；延切割线将陶瓷掰成瓷条，粘合成复合瓷条，固定在瓷片两侧，制得治具；放入烧结炉中预烧，制得烧结治具。所述溅射金属铬层工艺进一步为溅射CrNiNbGeMoN涂层工艺，以CrNiNbGeMo合金作为靶材，所述靶材包括以下质量百分比成分：50～60％Cr、12～15％Ni、5～7％Nb、5～7％Ge、10～20％Mo。本发明制

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116813388 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202310827419.3 (22)申请日 2023.07.07 (71)申请人四川富乐华半导体科技有限公司地址