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本发明公开了一种基于气隙磁场分层耦合的时栅直线位移传感器，包括定尺和动尺，定尺与动尺保持正对平行且留有间隙，定尺包括定尺基体和印制在定尺基体上的激励单元，动尺包括动尺基体和印制在动尺基体上的感应单元，感应单元由分布于不同布线层的第一感应线圈、第二感应线圈和第三感应线圈通过过孔串联构成。采用不同形状的平面感应线圈分层耦合可以在提高传感器信噪比的同时，减小空间气隙磁场引入的谐波误差，提高传感器的测量精度。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116817726 A
(43)申请公布日 2023.09.29
(21)申请号 202310816775.5
(22)申请日 2023.07.04
(71)申请人 重庆理工大学
地址 400054
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