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普洛帝PMT-2电子级超纯水颗粒管控解决方案 普洛帝PMT-2电子级超纯水颗粒管控解决方案 什么是超纯水？ 超纯水是指电阻率达到18MΩ*cm（25℃）的水。这种水中除了水分子外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，也就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。 什么是电子级超纯水？ 集成电路的生产，几乎每道工序都需要超纯水进行清洗，工件与水直接接触，而一方面芯片在加工过程中的微量玷污得到清洗，而另一方面纯水中的微量杂质又可能使芯片再污染，无疑对产品有着极大的影响。随着集成电路程度的进一步提高，对水中污染物要求亦将更为严格，从六十年代末期，美国五家公司提出的集成电路用纯水的水质指标以来，集成电路每前进一代，杂质都要减少1/2-1/10。美国材料实验学会（ASTM）1983、1990年颁发的电子级水质标准，已不能适应超大规模集成电路迅速发展的需要。目前ASTM提出了新的、更为严格的水质指标。 电子级超纯水的颗粒管控解决新方案 电子级超纯水的要求，就需要一款具备颗粒管控功能的仪器对超纯水的水质进行管控。对电子级超纯水里粒子的大小和数量的多少进行监控，进而判定电子级超纯水的级别和洁净度。普洛帝自主研发生产的PMT-2液体颗粒计数器，集成款专门是针对电子级超纯水颗粒进行管控的仪器。仪器主机将取样系统、检测系统和显示操作系统集成到一体，一台仪