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多晶硅尾气新型干法回收技术张双永魏玺群彭少成（四川开元科技有限责任公司四川成都610021）摘要介绍了最新开发的一种多晶硅尾气新型干法回收技术，与常规干法回收技术相比，该技术具有产品氢气纯度高、能耗低、寿命长、维护费用低、投资省、自动化程度高等优点，具有更为理想的经济效益和环保效益。通过本新型干法回收技术处理后，产品氢气中氯硅烷、HCl的氯化物含量长期稳定的小于2ppm，利用该氢气作为还原氢可配套生产高品质的多晶硅产品。 关键词多晶硅尾气干法回收还原尾气氢气1、引言 太阳能作为清洁的新能源将是未来能源发展的主要方向之一，高纯多晶硅是太阳能光伏产业和电子工业的基础原料，随着信息技术和太阳能产业的飞速发展，全球对多晶硅的需求增长迅猛。由于太阳能光伏产业具有非常广阔的应用前景，近年来，全球太阳能电池产量快速增加，强大的需求和丰厚的利润刺激着多晶硅产业的迅速膨胀，高峰时利润率超过800%，直接拉动了多晶硅产能的迅猛增长。仅在国内，据有关媒体报道，截止2009年6月，我国已有近20家企业的多晶硅项日投产，产能规模超过3万吨/年，另外还有10多家企业在建、扩建多晶硅项日，至2010年，总规划产能预计将超过10万吨，我国已成为重要的多晶硅生产基地。 最早的多晶硅项日，主要考虑如何获得高纯度的多晶硅，而对于这个生产过程中所产生的尾气则没有加以回收，通常采用水洗的方式将氯硅烷水解后直接将尾气排放至大